Гранит һава тоту системалары киң кулланылаультра төгәллекярымүткәргечләр җитештерү, оптик тигезләү һәм нанометр масштаблы метрология өчен хәрәкәт платформалары.
Бу системалар нечкә басымлы һава пленкасы кулланып механик бәйләнешне бетерә, шуның белән нульгә якын ышкылу хәрәкәтенә ирешә.
Һава тоту принцибы
Һава подшипниклары ике өслек арасына кысылган һава кертү һәм 2–20 мкм һава пленкасы формалаштыру юлы белән эшли.
Бу түбәндәгеләрне бетерә:
- Механик ышкылу
- Кием
- Таяк тайып китү тәртибе
Система сыеклык пленка динамикасына һәм тотрыклы ламинар агымга таяна.
Гранитның роле
Гранит түбәндәгеләрне тәэмин итә:
- Структура тотрыклылыгы
- Термик дрейфны басу
- Вибрацияне сүндерү
Ул хәрәкәт системасы өчен механик белешмә базасы булып хезмәт итә.
Система компонентлары
- Гранит нигезе
- Һава подшипнигы колодкалары
- Һава белән тәэмин итү системасы
- Төгәл энкодерлар
- Хәрәкәт белән идарә итү системасы
Эшчәнлек үзенчәлекләре
Гадәти күрсәткечләргә түбәндәгеләр керә:
- Микроннан түбәнрәк позицияләү төгәллеге
- Озын сәяхәт вакытында югары турылык
- Нуль механик бәрелү
Төп хата чыганакларына һава басымы тотрыксызлыгы, җылылык дрейфы һәм энкодер хатасы керә.
Кушымталар
- Ярымүткәргечле пластина тикшерүе
- Литография системалары
- Оптик тигезләү платформалары
- Югары сыйфатлы метрология машиналары
еш бирелә торган сораулар
Һава подшипниклары тузамы?
Механик контактлар тузуны бетерми.
Ни өчен гранит кулланырга?
Тотрыклылык һәм тибрәнүне сүндерү өчен.
Төгәллекне нәрсә чикли?
Һава тотрыклылыгы һәм җылылык эффектлары.
Алар авыр йөкләрне күтәрә аламы?
Әйе, дизайнга карап.
Бастырылган вакыты: 2026 елның 3 июле