Материал - керамика

♦ Алумина (Әл2O3)

ZhongHui интеллектуаль җитештерү төркеме (ZHHIMG) җитештергән төгәл керамик өлешләр югары чисталык керамик чималдан, 92 ~ 97% алумина, 99,5% алумина,> 99,9% алумина, һәм CIP салкын изостатик басудан ясалырга мөмкин.Temperatureгары температураны синтерлау һәм төгәл эшкәртү, үлчәм төгәллеге ± 0,001 мм, Ra0.1 кадәр шома, температураны 1600 градуска кадәр кулланыгыз.Керамиканың төрле төсләре клиентларның таләпләренә туры китереп ясалырга мөмкин, мәсәлән: кара, ак, беж, куе кызыл һ.б. Безнең компания җитештергән төгәл керамик өлешләр югары температурага, коррозиягә, киемгә һәм изоляциягә чыдам, һәм булырга мөмкин. озак вакыт югары температурада, вакуум һәм коррозив газ мохитендә кулланыла.

Төрле ярымүткәргеч җитештерү җиһазларында киң кулланыла: рамнар (керамик кашка), субстрат (нигез), кул / күпер (манипулятор) ,, механик компонентлар һәм керамик һава йөртү.

AL2O3

Продукциянең исеме Pгары чисталык 99 Алумина керамик мәйданы трубасы / торба / таяк
Индекс Берәмлек 85% Al2O3 95% Al2O3 99% Al2O3 99,5% Al2O3
Тыгызлыгы g / cm3 3.3 3.65 3.8 3.9
Су абсорбциясе % <0.1 <0.1 0 0
Синтерланган температура 1620 1650 1800 1800
Каты Мох 7 9 9 9
Бөкләү көче (20 ℃)) Mpa 200 300 340 360
Компрессив көч Kgf / cm2 10000 25000 30000 30000
Озак вакыт эш температурасы 1350 1400 1600 1650
Макс.Эш температурасы 1450 1600 1800 1800
Күләм чыдамлыгы 20 ℃ Ω.см3 > 1013 > 1013 > 1013 > 1013
100 ℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300 ℃ > 109 > 1010 > 1012 > 1012

Highгары чисталык алумина керамикасын куллану:
1. Ярымүткәргеч җиһазларга кулланыла: керамик вакуум чәк, кисүче диск, чистарту дискы, керамик ЧАК.
2. Вафер күчерү өлешләре: вафер эшкәртү чәкләре, вафер кисү дисклары, вафер чистарту дисклары, вафер оптик инспекция сорау касәләре.
3. LED / LCD яссы панель күрсәтү индустриясе: керамик авыш, керамик тарткыч диск, LIFT PIN, PIN тимер юл.
4. Оптик элемтә, кояш индустриясе: керамик трубалар, керамик чыбыклар, схема тактасы экран керамик кыргычлары.
5. atылылыкка чыдам һәм электр изоляцион өлешләре: керамик подшипниклар.
Хәзерге вакытта алюминий оксиды керамикасын югары чисталыкка һәм гомуми керамикага бүлеп була.Alгары чисталык алюминий оксиды керамика сериясе 99,9% -тан артык Al₂O₃ булган керамик материалны аңлата.1650 - 1990 ° C га кадәр синтеринг температурасы һәм 1 ~ 6μм озынлыктагы дулкын озынлыгы аркасында, ул гадәттә платина урынына эретелгән пыялага эшкәртелә: аны җиңел үткәрү һәм коррозиягә каршы тору аркасында натрий трубасы итеп кулланырга мөмкин. алкалы металл.Электроника өлкәсендә аны IC субстратлары өчен югары ешлыклы изоляцион материал итеп кулланырга мөмкин.Алюминий оксидының төрле эчтәлеге буенча, гомуми алюминий оксиды керамик сериясен 99 керамика, 95 керамика, 90 керамика һәм 85 керамикага бүлеп була.Кайвакыт, алюминий оксидының 80% яки 75% булган керамика шулай ук ​​гомуми алюминий оксиды керамик сериясе дип классификацияләнә.Алар арасында 99 алюминий оксиды керамик материал югары температурада критик, янмый торган мич трубасы һәм керамик подшипниклар, керамик мөһерләр һәм клапан тәлинкәләр кебек махсус чыдам чыдам материаллар җитештерү өчен кулланыла.95 алюминий керамика, нигездә, коррозиягә чыдам киемгә каршы өлеш буларак кулланыла.85 керамика еш кына кайбер үзлекләрдә катнаша, шуның белән электр җитештерүчәнлеген һәм механик көчен яхшырта.Ул молибден, ниобий, тантал һәм башка металл мөһерләрне куллана ала, һәм кайберләре электр вакуум җайланмалары буларак кулланыла.

 

Сыйфат пункты (Вәкиллек кыйммәте) Продукциянең исеме AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Химик состав Түбән Натрий җиңел синтеринг продукты H₂O % 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Көчле елмаю % 0.1 0.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Fe₂0₃ % 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
SiO₂ % 0.03 0.03 0.03 0.03 0.02 0.04 0.04
Na₂O % 0.04 0.04 0.04 0.04 0.02 0.04 0.03
MgO * % - 0.11 0.05 0.05 - - -
Al₂0₃ % 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9
Урта кисәкчәләр диаметры (MT-3300, лазер анализлау ысулы) μm 0.44 0.43 0.39 0.47 1.1 2.2 3
α Бәллүр размер μm 0.3 0.3 0.3 0.3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Тыгызлыкны формалаштыру ** g / cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Синтеринг тыгызлыгы ** g / cm³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
Синтеринг сызыгының кимү темплары ** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO Al₂O₃ чисталыгын исәпләүгә кертелмәгән.
* 29,4МПа (300 кг / см²) масштаблы порошок юк, синтеринг температурасы 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: 0,05 ~ 0,1% MgO кушыгыз, синтрациональлек искиткеч, шуңа күрә ул 99% тан артык чисталык белән алюминий оксиды керамикасына кагыла.
AES-22S: formгары формалашу тыгызлыгы һәм синтеринг сызыгының түбән кысылу тизлеге белән характерланган, ул форма кастингына һәм кирәкле зурлыктагы төгәллек белән башка зур масштаблы продуктларга кагыла.
AES-23 / AES-31-03: Аның формалашу тыгызлыгы, тиксотропиясе һәм AES-22S белән чагыштырганда түбән ябышлыгы бар.элеккеге керамикага күнегелгән, соңгысы популярлык казанып, ут үткәрми торган материаллар өчен су киметүче буларак кулланыла.

♦ Кремний Карбид (SiC) характеристикалары

Гомуми характеристика Төп компонентларның чисталыгы (wt%) 97
Төс Кара
Тыгызлыгы (г / см³) 3.1
Су үзләштерү (%) 0
Механик характеристика Флексур көч (MPa) 400
Яшь модуль (GPa) 400
Викерс каты (GPa) 20
Rылылык характеристикалары Максималь эш температурасы (° C) 1600
Rылылык киңәйтү коэффициенты ТР ~ 500 ° C. 3.9
(1 / ° C х 10-6) ТР ~ 800 ° C. 4.3
Rылылык үткәрүчәнлеге (W / m x K) 130 110
Rылылык шокына каршы тору ΔT (° C) 300
Электр характеристикалары Күләмгә каршы тору 25 ° C. 3 x 106
300 ° C. -
500 ° C. -
800 ° C. -
Диэлектрик даими 10 ГГц -
Диэлектрик югалту (х 10-4) -
С факторы (х 104) -
Диэлектрик өзелү көчәнеше (КВ / мм) -

20200507170353_55726

♦ Кремний Нитрид керамикасы

Материал Берәмлек Si₃N₄
Синтеринг ысулы - Газ басымы
Тыгызлыгы g / cm³ 3.22
Төс - Кара соры
Суның үзләштерү дәрәҗәсе % 0
Яшь модуль Gpa 290
Викерс каты Gpa 18 - 20
Компрессив көч Mpa 2200
Бөкләү көче Mpa 650
Rылылык үткәрүчәнлеге W / mK 25
Rылылык шокына каршы тору Δ (° C) 450 - 650
Максималь эш температурасы ° C. 1200
Күләм чыдамлыгы Ω · см > 10 ^ 14
Диэлектрик констант - 8.2
Диэлектрик көч кВ / мм 16