♦ Алумина (Әл2O3)
ZhongHui интеллектуаль җитештерү төркеме (ZHHIMG) җитештергән төгәл керамик өлешләр югары чисталык керамик чималдан, 92 ~ 97% алумина, 99,5% алумина,> 99,9% алумина, һәм CIP салкын изостатик басудан ясалырга мөмкин.Temperatureгары температураны синтерлау һәм төгәл эшкәртү, үлчәм төгәллеге ± 0,001 мм, Ra0.1 кадәр шома, температураны 1600 градуска кадәр кулланыгыз.Керамиканың төрле төсләре клиентларның таләпләренә туры китереп ясалырга мөмкин, мәсәлән: кара, ак, беж, куе кызыл һ.б. Безнең компания җитештергән төгәл керамик өлешләр югары температурага, коррозиягә, киемгә һәм изоляциягә чыдам, һәм булырга мөмкин. озак вакыт югары температурада, вакуум һәм коррозив газ мохитендә кулланыла.
Төрле ярымүткәргеч җитештерү җиһазларында киң кулланыла: рамкалар (керамик кашка), субстрат (нигез), кул / күпер (манипулятор) ,, механик компонентлар һәм керамик һава йөртү.
| Продукциянең исеме | Pгары чисталык 99 Алумина керамик мәйданы трубасы / торба / таяк | |||||
| Индекс | Берәмлек | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99,5% Al2O3 | |
| Тыгызлыгы | g / cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Су абсорбциясе | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| Синтерланган температура | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Катылык | Мох | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Бөкләү көче (20 ℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Компрессив көч | Kgf / cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Озак вакыт эш температурасы | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Макс.Эш температурасы | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Күләм чыдамлыгы | 20 ℃ | Ω.см3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
| 100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 | ||
Highгары чисталык алумина керамикасын куллану:
1. Ярымүткәргеч җиһазларга кулланыла: керамик вакуум чәк, кисүче диск, чистарту дискы, керамик ЧАК.
2. Вафер күчерү өлешләре: вафер эшкәртү чәкләре, вафер кисү дисклары, вафер чистарту дисклары, вафер оптик инспекция сорау касәләре.
3. LED / LCD яссы панель күрсәтү индустриясе: керамик авыш, керамик тарткыч диск, LIFT PIN, PIN тимер юл.
4. Оптик элемтә, кояш индустриясе: керамик трубалар, керамик чыбыклар, схема тактасы экран керамик кыргычлар.
5. atылылыкка чыдам һәм электр изоляцион өлешләре: керамик подшипниклар.
Хәзерге вакытта алюминий оксиды керамикасын югары чисталыкка һәм гомуми керамикага бүлеп була.Alгары чисталык алюминий оксиды керамика сериясе 99,9% -тан артык Al₂O₃ керамик материалны аңлата.1650 - 1990 ° C га кадәр синтеринг температурасы һәм 1 ~ 6μм озынлыктагы дулкын озынлыгы аркасында, ул гадәттә платина урынына эретелгән пыялага эшкәртелә: аны яктылык үткәрү һәм коррозиягә каршы тору аркасында натрий трубасы итеп кулланырга мөмкин. алкалы металл.Электроника өлкәсендә аны IC субстратлары өчен югары ешлыклы изоляцион материал итеп кулланырга мөмкин.Алюминий оксидының төрле эчтәлеге буенча, гомуми алюминий оксиды керамик сериясен 99 керамика, 95 керамика, 90 керамика һәм 85 керамикага бүлеп була.Кайвакыт, алюминий оксидының 80% яки 75% булган керамика шулай ук гомуми алюминий оксиды керамик сериясе дип классификацияләнә.Алар арасында 99 алюминий оксиды керамик материал югары температурада критик, янмый торган мич трубасы һәм керамик подшипниклар, керамик мөһерләр һәм клапан тәлинкәләр кебек махсус киемгә чыдам материаллар җитештерү өчен кулланыла.95 алюминий керамика, нигездә, коррозиягә чыдам киемгә каршы өлеш буларак кулланыла.85 керамика еш кына кайбер үзлекләрдә катнаша, шуның белән электр җитештерүчәнлеген һәм механик көчен яхшырта.Ул молибден, ниобий, тантал һәм башка металл мөһерләрне куллана ала, һәм кайберләре электр вакуум җайланмалары буларак кулланыла.
| Сыйфат пункты (Вәкиллек кыйммәте) | Продукциянең исеме | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Химик состав Түбән Натрий җиңел синтеринг продукты | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| Көчле елмаю | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| SiO₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| Na₂O | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| MgO * | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| Урта кисәкчәләр диаметры (MT-3300, лазер анализлау ысулы) | μm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α Бәллүр размер | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
| Тыгызлыкны формалаштыру ** | g / cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Синтеринг тыгызлыгы ** | g / cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| Синтеринг сызыгының кимү темплары ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO Al₂O₃ чисталыгын исәпләүгә кертелмәгән.
* 29,4МПа (300 кг / см²) масштаблы порошок юк, синтеринг температурасы 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: 0,05 ~ 0,1% MgO кушыгыз, синтрациональлек искиткеч, шуңа күрә ул 99% тан артык чисталык белән алюминий оксиды керамикасына кагыла.
AES-22S: formгары формалашу тыгызлыгы һәм синтеринг сызыгының түбән кысылу тизлеге белән характерланган, ул форма кастингына һәм кирәкле зурлыктагы төгәллек белән башка зур масштаблы продуктларга кагыла.
AES-23 / AES-31-03: Аның формалашу тыгызлыгы, тиксотропиясе һәм AES-22S белән чагыштырганда түбән ябышлыгы бар.элеккеге керамикага күнегелгән, соңгысы популярлык казанып, ут үткәрми торган материаллар өчен су киметүче буларак кулланыла.
♦ Кремний Карбид (SiC) характеристикалары
| Гомуми характеристика | Төп компонентларның чисталыгы (wt%) | 97 | |
| Төс | Кара | ||
| Тыгызлыгы (г / см³) | 3.1 | ||
| Су үзләштерү (%) | 0 | ||
| Механик характеристика | Флексур көч (MPa) | 400 | |
| Яшь модуль (GPa) | 400 | ||
| Викерс каты (GPa) | 20 | ||
| Rылылык характеристикалары | Максималь эш температурасы (° C) | 1600 | |
| Rылылык киңәйтү коэффициенты | ТР ~ 500 ° C. | 3.9 | |
| (1 / ° C х 10-6) | ТР ~ 800 ° C. | 4.3 | |
| Rылылык үткәрүчәнлеге (W / m x K) | 130 110 | ||
| Rылылык шокына каршы тору ΔT (° C) | 300 | ||
| Электр характеристикалары | Күләмгә каршы тору | 25 ° C. | 3 x 106 |
| 300 ° C. | - | ||
| 500 ° C. | - | ||
| 800 ° C. | - | ||
| Диэлектрик даими | 10 ГГц | - | |
| Диэлектрик югалту (х 10-4) | - | ||
| С факторы (х 104) | - | ||
| Диэлектрик өзелү көчәнеше (КВ / мм) | - | ||
♦ Кремний Нитрид керамикасы
| Материал | Берәмлек | Si₃N₄ |
| Синтеринг ысулы | - | Газ басымы |
| Тыгызлыгы | g / cm³ | 3.22 |
| Төс | - | Кара соры |
| Суның үзләштерү дәрәҗәсе | % | 0 |
| Яшь модуль | Gpa | 290 |
| Викерс каты | Gpa | 18 - 20 |
| Компрессив көч | Mpa | 2200 |
| Бөкләү көче | Mpa | 650 |
| Rылылык үткәрүчәнлеге | W / mK | 25 |
| Rылылык шокына каршы тору | Δ (° C) | 450 - 650 |
| Максималь эш температурасы | ° C. | 1200 |
| Күләм чыдамлыгы | Ω · см | > 10 ^ 14 |
| Диэлектрик констант | - | 8.2 |
| Диэлектрик көч | кВ / мм | 16 |