♦ Алумина (Әл2O3)
Чжунгуйның интеллектуаль җитештерү төркеме (chhhimg) җитештергән төгәл заминация (~ 97% Алуминина,> 99,9% Алуминина, һәм Килюна, CIP салкын изостатик пресс. Highгары температура Керамиканың төрле төсләре клиентларның таләпләре буенча ясалырга мөмкин, мәсәлән: безнең компания җитештергән төгәл замика югары температориягә, коррозиягә, вакуумга, вакуум һәм коррозив газ мохитендә озак кулланырга этәрә ала.
Төрле ярымүткәргеч җитештерү җиһазларының төрле җиһазларында киң кулланыла: субстрат (база), кул / күпер (манипулятор),, механик компонентлар һәм керамик һава.
| Продукция исеме | Highгары чисталык 99 Алумина Керамик Centrad Tube / торба / таяк | |||||
| Индекс | Берәмлек | 85% AL2O3 | 95% AL2O3 | 99% AL2O3 | 99,5% Al2o3 | |
| Тыгызлык | g / cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Су сеңдерү | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| Гөнаһлы температура | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Катылык | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Бөкләү көче (20 ℃)) | MPA | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Кысылган көч | KGF / CM2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Озак вакыт эш температурасы | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Макс. Эш температурасы | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Тавыш рейтинг | 20 ℃ | Ω. cm3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
| 100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 | ||
Highгары чисталык Алюина керамикасын куллану:
1. Ярымүткәргеч җиһазлар өчен кулланылган: Керамик вакуум Чак, диск, чистарту диск, керамик чәк.
2. Вафрны күчерү өлешләре: Вафрны эшкәртү, Вафер кисү дисклары, Верфер чистарту дисклары, оптик инспекция соравы касәләре.
3. LED / LCD яссы панель тарату тармагы: Керамик сызык, керамик тарту диск, Пин, Пин тимер юл.
4. Оптик аралашу, кояш сәнәгате: керамик трубалар, керамик таяклар, район полковник керамик скрейтлары.
5. Хист-чыдам һәм электр белән изоляцияләнгән өлешләр: Керамик подшипниклар.
Хәзерге вакытта алюминий керамикасы югары сафлыкка һәм гомуми керамикага бүлеп була. Highгары чисталык алюминийы Оксид керамика сериясе 99,9% тан артык Al₂o₃ булган керамик материалга карый. 1650 елга кадәр, 1990 ° C һәм аның тапшыру дулкын озынлыгы аркасында, гадәттә, платина хачка әйләнеп булмый торган пыялага эшкәртелә: бу аның җиңел транзитрант һәм коррозиягә каршы тору өчен кулланыла ала. Электроника өлкәсендәге индустриядә аны IC субстратлары өчен югары ешлыклы изоляцион материал буларак кулланырга мөмкин. Алюминий Оксидның төрле эчтәлеге буенча, гомуми алюминий оксид керамикасы, 95 керамика, 95 керамика, 90 керамика һәм 85 керамика белән бүленергә мөмкин. Кайвакыт, керамика 80% яки алюминий оксидының 75% белән уртак алюминий оксиды сериясе дәреслекле классификацияләнәләр. Алар арасында 99 Алюминий Оксид керамик материаллар югары температура крестраль зәвыклы, утлы запаслар һәм махсус туфрак чокышын чыгару өчен кулланыла, мәсәлән, керамик подшипниклар, керамик мөһерләр һәм клапан тәлинкәләр. 95 Алюминий керамика, нигездә, нигездә коррозия чыдам. 85 керамика еш кына кайбер үзенчәлекләргә кушыла, шуның белән электр спектаклын һәм механик көчне яхшырту. Бу Молебденум, Никиум, Таналум һәм башка металл мөһерләр куллана ала, кайберләре электр вакуум җайланмалары буларак кулланыла.
| Сыйфат пункты (Вәкиллек кыйммәте) | Продукция исеме | АС-12 | Аес-11 | Эс-11С | AES-11F | Аес-22с | AES-23 | Аль-31-03 | |
| Химик композиция түбән натрий җиңел гөнаһлы продукт | H₂o | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| Lol | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| Sio₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| Na₂o | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| Млаг * | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| Урта кисәкчәләр диаметры (MT-3300, лазер анализ ысулы) | عm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α кристалл зурлыгы | عm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| Тыгызлык формалаштыру ** | g / cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Гөнаһлы тыгызлыгы ** | g / cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| Сафтеринг сызыгының кысылу тизлеге ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MGO Al₂o₃ чисталыгын исәпләүгә кертелмәгән.
* Порошокның порошокы юк 29,4мпа (300 кг / см²), гөнаһлы температура 1600 ° C.
AES-11/1F / 11C / 11C / 11C / 11C / 111% MGO өстәгез, гөнаһлылык бик яхшы, шуңа күрә ул алюминий керамикаларына 99% тан артык.
Аес-22с: югары формалаштыру тыгызлыгы һәм чикләү сызыгының аз кысылу тизлеге белән характерлана, ул тайпылу яки башка зур масштаблы продуктлар өчен кирәкле үлчәмле төгәллек белән кулланыла.
Аес-23 / АС-31-03: Аның формалаштыру тыгызлыгы, тикотропи һәм аесс-22скә караганда түбән ябышлык бар. Соңгысы керамикага күнеккән вакытта, популярлык казанышу, популярлык казанышлары.
♦ кремний карбид (сан) характеристикалары
| Гомуми үзенчәлекләр | Төп компонентларның чисталыгы (WT%) | 97 | |
| Төс | Кара | ||
| Тыгызлык (g / cm³) | 3.1 | ||
| Су сеңдерү (%) | 0 | ||
| Механик характеристикалар | Флексураль көч (MPA) | 400 | |
| Яшь Модулус (GPA) | 400 | ||
| Викерс катылык (GPA) | 20 | ||
| Җылылык характеристикалары | Максималь операция температурасы (° C) | 1600 | |
| Термаль киңәйтү коэффициенты | RT ~ 500 ° C. | 3.9 | |
| (1/ / ° C X 10-6) | RT ~ 800 ° C. | 4.3 | |
| Җылылык үткәрүчәнлеге (w / м x k) | 130 110 | ||
| Термаль шок каршылыгы ZNT (° C) | 300 | ||
| Электр характеристикалары | Тавыш рейтинг | 25 ° C. | 3 X 106 |
| 300 ° C. | - | ||
| 500 ° C. | - | ||
| 800 ° C. | - | ||
| Диэлектрик даими | 10ггц | - | |
| Диэлектрик югалту (x 10-4) | - | ||
| Q фактор (x 104) | - | ||
| Диэлектрик өзелү көчәнеш (КВ / мм) | - | ||
♦ кремний нитрид керамикы
| Материал | Берәмлек | Si₃n₄ |
| Гөнаһлау ысулы | - | Газ басымы гөнаһ эшләде |
| Тыгызлык | g / cm³ | 3.22 |
| Төс | - | Куе соры |
| Суның сеңдерү дәрәҗәсе | % | 0 |
| Яшь Модулус | GPA | 290 |
| Викерс катылык | GPA | 18 - 20 |
| Кысылган көч | MPA | 2200 |
| Игелекле көч | MPA | 650 |
| Җылылык үткәрүчәнлеге | W / mk | 25 |
| Термаль шок каршылыгы | Δ (° C) | 450 - 650 |
| Максималь эш температурасы | ° C. | 1200 |
| Тавыш рейтинг | Ωкем | > 10 ^ 14 |
| Диэлектрик даими | - | 8.2 |
| Диэлектрик көч | kv / мм | 16 |