Чип җитештерүнең төп звеносында - пластина сканерлауда, җиһазның төгәллеге чип сыйфатын билгели. Җиһазның мөһим компоненты буларак, гранит машинасы нигезенең җылылык киңәю проблемасы зур игътибар җәлеп итте.
Гранитның җылылык киңәю коэффициенты гадәттә 4 һәм 8 × 10⁻⁶/℃ арасында була, бу металл һәм мәрмәрнекеннән күпкә түбәнрәк. Бу температура үзгәргәндә, аның зурлыгы чагыштырмача аз үзгәрә дигәнне аңлата. Ләкин шунысын да билгеләп үтәргә кирәк, түбән җылылык киңәюе җылылык киңәюе юк дигәнне аңлатмый. Температураның бик нык үзгәрүе шартларында, хәтта иң кечкенә киңәю дә пластина сканерлауның нанокүләмле төгәллегенә тәэсир итә ала.
Пластинаны сканерлау процессы вакытында җылылык киңәюенең күп сәбәпләре бар. Остаханәдәге температура тирбәнешләре, җиһаз компонентлары эшләве нәтиҗәсендә барлыкка килгән җылылык һәм лазер эшкәртү нәтиҗәсендә килеп чыккан тиз югары температура гранит нигезенең "температура үзгәрүе аркасында киңәюенә һәм кысылуына" китерәчәк. Нигез җылылык киңәюенә дучар булгач, юнәлеш бирүче рельсның турылыгы һәм платформаның яссылыгы үзгәрергә мөмкин, бу пластина өстәленең төгәл булмаган хәрәкәт траекториясенә китерә. Терәк оптик компонентлар да күчәчәк, бу сканерлау нурының "тайпылуына" китерәчәк. Озак вакыт өзлексез эшләү дә хаталар туплаячак, төгәллекне начарайта.
Ләкин борчылмагыз. Кешеләрнең инде чишелешләре бар. Материалларга килгәндә, җылылык киңәю коэффициенты түбәнрәк булган гранит тамырлар сайланачак һәм картайту эшкәртмәсенә дучар ителәчәк. Температураны контрольдә тотуга килгәндә, остаханә температурасы 23±0,5℃ яки аннан да түбәнрәк дәрәҗәдә төгәл контрольдә тотыла, һәм нигез өчен актив җылылык тарату җайланмасы да эшләнәчәк. Конструкция дизайнына килгәндә, симметрик структуралар һәм сыгылмалы терәкләр кулланыла, һәм реаль вакыт режимында температура датчиклары аша күзәтү алып барыла. Җылылык деформациясе аркасында килеп чыккан хаталар алгоритмнар ярдәмендә динамик рәвештә төзәтелә.
ASML литография машиналары кебек югары сыйфатлы җиһазлар, бу ысуллар ярдәмендә, гранит нигезенең җылылык киңәю эффектын бик кечкенә диапазонда саклый, бу пластина сканерлау төгәллеген нанометр дәрәҗәсенә җиткерергә мөмкинлек бирә. Шуңа күрә, дөрес контрольдә тотылган очракта, гранит нигез пластина сканерлау җиһазлары өчен ышанычлы сайлау булып кала.
Бастырылган вакыты: 2025 елның 12 июне