Чип җитештерүнең төп бәйләнешендә - вафер сканерлау, җиһазның төгәллеге чипның сыйфатын билгели. Theиһазның мөһим компоненты буларак, гранит машина базасының җылылык киңәю проблемасы зур игътибарны җәлеп итте.
Гранитның җылылык киңәю коэффициенты гадәттә 4 - 8 × 10⁻⁶ / between арасында, бу металл һәм мәрмәрнекеннән күпкә түбән. Димәк, температура үзгәргәндә аның күләме чагыштырмача аз үзгәрә. Ләкин шуны әйтергә кирәк: түбән җылылык киңәюе җылылык киңәюе дигән сүз түгел. Экстремаль температураның үзгәрүе астында, хәтта кечкенә генә киңәю дә ван сканерының наноскаль төгәллегенә тәэсир итә ала.
Вафер сканерлау процессында җылылык киңәюенең берничә сәбәбе бар. Семинардагы температураның үзгәрүе, җиһаз компонентларының эшләве аркасында барлыкка килгән җылылык, һәм лазер эшкәртү белән китерелгән тиз арада югары температура гранит базасының "температураның үзгәрүе аркасында киңәюенә һәм контрактлашуына" китерәчәк. Баз җылылык киңәюен кичергәннән соң, тимер юлның туры һәм платформаның яссылыгы читкә тайпылырга мөмкин, нәтиҗәдә вафер өстәленең хәрәкәт траекториясе дөрес түгел. Ярдәмче оптик компонентлар шулай ук сменага әйләнәчәк, сканер нуры "тайпылуга" китерәчәк. Озак вакыт өзлексез эшләү шулай ук хаталар туплаячак, төгәллекне начаррак итә.
Ләкин борчылмагыз. Кешеләрнең чишелешләре бар. Материаллар ягыннан җылылык киңәюенең түбән коэффициенты булган гранит тамырлар сайланачак һәм картлык белән дәваланачак. Температураны контрольдә тоту ягыннан, цех температурасы 23 ± 0,5 at яки хәтта түбәнрәк контрольдә тотыла, һәм шулай ук актив җылылык тарату җайланмасы нигез өчен эшләнәчәк. Структур дизайн ягыннан симметрик структуралар һәм сыгылмалы терәкләр кабул ителә, һәм реаль вакытта мониторинг температура сенсорлары аша үткәрелә. Термаль деформация аркасында килеп чыккан хаталар алгоритмнар белән динамик рәвештә төзәтелә.
ASML литография машиналары кебек югары дәрәҗәдәге җиһазлар, бу ысуллар ярдәмендә, гранит базаның җылылык киңәйтү эффектын бик кечкенә диапазонда саклыйлар, ванны сканерлау төгәллеген нанометр дәрәҗәсенә җиткерәләр. Шуңа күрә, дөрес контрольдә булганда, гранит база вафер сканерлау җайланмалары өчен ышанычлы сайлау булып кала.
Пост вакыты: 12-2025 июнь