?
Ярымүткәргеч җитештерү өлкәсендә, вафин тикшерү җиһазларының төгәллеге чипларның сыйфатын һәм уңышын турыдан-туры билгели. Coreзәкне ачыклау компонентларын яклаучы нигез буларак, җиһазның төп материалының үлчәмле тотрыклылыгы җиһазның озак вакытлы оператив эшендә мөһим роль уйный. Гранит һәм чуен - вафер тикшерү җиһазлары өчен еш кулланыла торган төп материал. 10 еллык чагыштырма тикшеренү алар арасындагы үлчәмле тотрыклылык ягыннан зур аермаларны ачыклады, җиһаз сайлау өчен мөһим сылтамалар бирде. ?
Эксперименталь фон һәм дизайн
Ярымүткәргеч вафиннар җитештерү процессы ачыклау төгәллеге өчен бик югары таләпләргә ия. Хәтта микрометр дәрәҗәсендәге үлчәмле тайпылыш та чип җитештерүчәнлегенең кимүенә яки хәтта кырылуына китерергә мөмкин. Озак вакыт куллану вакытында гранит һәм чуенның үлчәмле тотрыклылыгын тикшерү өчен, тикшеренү төркеме реаль эш шартларын симуляцияләгән экспериментлар эшләде. Шул ук спецификациянең гранит һәм чуен үрнәкләре сайланды һәм экологик камерага урнаштырылды, анда температура 15 ℃ 35 flu, дым 30% - 70% RH үзгәргән. Theиһаз эшләгәндә механик тибрәнү тибрәнү өстәле аша симуляцияләнде. Samрнәкләрнең төп үлчәмнәре һәр кварталда югары төгәл лазер интерферометры ярдәмендә үлчәнде, һәм мәгълүматлар 10 ел дәвамында өзлексез яздырылды. ?
Эксперименталь нәтиҗә: Гранитның абсолют өстенлеге
Ун еллык эксперимент мәгълүматлары шуны күрсәтә: гранит субстрат гаҗәеп тотрыклылык күрсәтә. Аның җылылык киңәю коэффициенты бик түбән, уртача 4,6 × 10⁻⁶ / only. Температураның кискен үзгәрүе астында, үлчәмле тайпылыш һәрвакыт ± 0,001 мм эчендә контрольдә тотыла. Дым үзгәрү алдында, гранитның тыгыз структурасы аны тәэсир итми диярлек, һәм үлчәнә торган үлчәмле үзгәрешләр булмый. Механик тибрәнү мохитендә, гранитның искиткеч дампинг характеристикалары тибрәнү энергиясен эффектив үзләштерә, һәм үлчәм үзгәрүчәнлеге бик кечкенә. ?
Киресенчә, чуен субстрат өчен җылылыкның киңәю коэффициенты 11 × 10⁻⁶ / ℃ - 13 × 10⁻⁶ / reaches җитә, һәм 10 ел эчендә температураның үзгәрүе аркасында максималь үлчәм тайпылышы ± 0.05 мм. Дымлы шартларда чуен датка һәм коррозиягә мохтаҗ. Кайбер үрнәкләрдә җирле деформация күрсәтелә, һәм үлчәмле тайпылыш тагын да арта. Механик тибрәнү тәэсирендә, чуен тибрәнүнең начар эшләве һәм зурлыгы еш үзгәрә, вафер тикшерүнең югары төгәл таләпләрен үтәүне кыенлаштыра. ?
Тотрыклылык аермасының төп сәбәбе
Гранит йөзләрчә миллион ел эчендә геологик процесслар ярдәмендә барлыкка килгән. Аның эчке төзелеше тыгыз һәм бертөрле, һәм минераль кристалллар тотрыклы урнаштырылган, эчке стрессны табигатьтән бетерә. Бу температура, дым һәм тибрәнү кебек тышкы факторларның үзгәрүенә чиктән тыш сизгер. Чуен кастинг процессы белән ясала һәм эчендә күзәнәкләр, ком тишекләре кебек микроскопик кимчелекләр бар. Шул ук вакытта, кастинг процессында барлыкка килгән калдык стресс тышкы мохит стимуляциясе астында үлчәмле үзгәрешләр китерергә мөмкин. Чуенның металл үзлекләре аны дым аркасында датка китерә, структур зыянны тизләтә һәм үлчәм тотрыклылыгын киметә. ?
Вафин инспекция җиһазларына йогынты
Гранит субстратка нигезләнгән вафер инспекция җиһазлары, аның тотрыклы үлчәмле эшләве белән, инспекция системасының озак вакыт дәвамында төгәллекне саклап калуын, җиһазларның төгәллеге аркасында килеп чыккан дөрес булмаган карарны киметүне һәм продукт җитештерүчәнлеген сизелерлек яхшырта ала. Шул ук вакытта түбән хезмәт күрсәтү таләпләре җиһазның тулы цикл бәясен киметә. Чуен субстратларны кулланган җиһазлар, начар үлчәмле тотрыклылык аркасында, еш калибрлау һәм хезмәт күрсәтүне таләп итә. Бу операция чыгымнарын арттырмыйча, ярымүткәргеч җитештерү сыйфатын тәэсир итә ала, төгәллек җитмәгәнлектән, потенциаль икътисади югалтулар китерә. ?
Ярымүткәргеч индустриясенең югары төгәллеккә һәм яхшырак сыйфатка омтылу тенденциясе буенча, гранитны вафер инспекциясе өчен төп материал итеп сайлау, һичшиксез, җиһазларның эшләвен тәэмин итү һәм предприятияләрнең көндәшлелеген күтәрү өчен акыллы адым. ?
Пост вакыты: 14-2025 май