Ярымүткәргечләр җитештерү өлкәсендә пластина тикшерү җиһазларының төгәллеге чипларның сыйфатын һәм чыгышын турыдан-туры билгели. Төп детектор компонентларын тотып торучы нигез буларак, җиһаз нигезе материалының үлчәмле тотрыклылыгы җиһазларның озак вакытлы эксплуатациясендә мөһим роль уйный. Гранит һәм чуен - пластина тикшерү җиһазлары өчен еш кулланыла торган ике төп материал. 10 еллык чагыштырма тикшеренү алар арасындагы үлчәмле тотрыклылык ягыннан мөһим аермаларны ачыклады, җиһазлар сайлау өчен мөһим белешмәләр бирде.
Эксперименталь фон һәм дизайн
Ярымүткәргеч пластиналар җитештерү процессы детекторлау төгәллегенә бик югары таләпләр куя. Хәтта микрометр дәрәҗәсендәге үлчәм тайпылышы да чипның эшләвен киметүгә яки хәтта калдыкларга китерергә мөмкин. Озак вакыт куллану вакытында гранит һәм чуенның үлчәм тотрыклылыгын өйрәнү өчен, тикшеренү төркеме чын эш мохитен симуляцияләүче экспериментлар эшләде. Бер үк спецификациядәге гранит һәм чуен үрнәкләре сайлап алынды һәм температура 15℃ дан 35℃ га кадәр, ә дымлылык 30% дан 70% га кадәр тирбәлгән мохит камерасына урнаштырылды. Җиһазлар эшләгәндә механик тибрәнү тибрәнү таблицасы аша симуляцияләнде. Үрнәкләрнең төп үлчәмнәре һәр кварталда югары төгәллекле лазер интерферометры ярдәмендә үлчәнде, һәм мәгълүматлар 10 ел дәвамында өзлексез теркәлде.
Эксперименталь нәтиҗә: Гранитның абсолют өстенлеге
Ун еллык эксперименталь мәгълүматлар гранит нигезенең гаҗәеп тотрыклылык күрсәтүен күрсәтә. Аның җылылык киңәю коэффициенты бик түбән, уртача нибары 4,6 × 10⁻⁶/℃. Температура кискен үзгәрүләре вакытында үлчәм тайпылышы һәрвакыт ±0,001 мм эчендә контрольдә тотыла. Дымлылык үзгәрүе очрагында гранитның тыгыз структурасы аңа диярлек тәэсир итми, һәм үлчәнә торган үлчәм үзгәрешләре булмый. Механик тибрәнү мохитендә гранитның бик яхшы сүндерү үзенчәлекләре тибрәнү энергиясен нәтиҗәле рәвештә үзләштерә, һәм үлчәм тирбәнешләре бик аз.
Киресенчә, чуен нигез өчен аның уртача җылылык киңәю коэффициенты 11 × 10⁻⁶/℃ - 13 × 10⁻⁶/℃ га җитә, һәм 10 ел эчендә температура үзгәрүе нәтиҗәсендә барлыкка килгән максималь үлчәм тайпылышы ±0,05 мм тәшкил итә. Дымлы мохиттә чуен тутык һәм коррозиягә бирешүчән. Кайбер үрнәкләрдә җирле деформация күзәтелә, һәм үлчәм тайпылышы тагын да арта. Механик тибрәнү тәэсирендә чуенның тибрәнүне басу үзенчәлекләре начар, һәм аның зурлыгы еш үзгәрә, бу пластина тикшерүенең югары төгәллек таләпләрен үтәүне катлауландыра.
Тотрыклылык аермасының төп сәбәбе
Гранит йөзләрчә миллион еллар дәвамында геологик процесслар аша барлыкка килгән. Аның эчке структурасы тыгыз һәм бер төрле, ә минераль кристаллары тотрыклы урнашкан, бу эчке көчәнешне табигатьтән бетерә. Бу аны тышкы факторларның, мәсәлән, температура, дымлылык һәм тибрәнүнең үзгәрешләренә бик сизгер итми. Чуен кою процессы белән ясала һәм эчендә тишекләр һәм ком тишекләре кебек микроскопик кимчелекләр бар. Шул ук вакытта, кою процессында барлыкка килгән калдык көчәнеш тышкы мохит стимуллаштыруы астында үлчәм үзгәрешләренә китерергә мөмкин. Чуенның металлик үзлекләре аны дым аркасында дат басуга дучар итә, структураның бозылуын тизләтә һәм үлчәм тотрыклылыгын киметә.
Пластинаны тикшерү җиһазларына йогынты
Гранит нигезенә нигезләнгән пластина тикшерү җиһазлары, тотрыклы үлчәмле эшчәнлеге белән, тикшерү системасының озак вакыт дәвамында югары төгәллекне саклап калуын тәэмин итә, җиһазларның төгәллек тайпылышы аркасында килеп чыккан ялгыш бәяләүләрне һәм ачыклауны киметә, һәм продуктның чыгышын сизелерлек яхшырта ала. Шул ук вакытта, түбән хезмәт күрсәтү таләпләре җиһазларның тулы гомер циклы бәясен киметә. Чуен нигезләрен кулланучы җиһазлар, үлчәм тотрыклылыгы начар булу сәбәпле, еш калибрлау һәм хезмәт күрсәтүне таләп итә. Бу эксплуатация чыгымнарын гына арттырмый, ә төгәллек җитмәү сәбәпле ярымүткәргеч җитештерү сыйфатына да тәэсир итә ала, бу потенциаль икътисади югалтуларга китерергә мөмкин.
Ярымүткәргечләр сәнәгате югарырак төгәллек һәм сыйфатны арттыру тенденциясе шартларында, гранитны пластина тикшерү җиһазлары өчен төп материал итеп сайлау, һичшиксез, җиһазларның эшчәнлеген тәэмин итү һәм предприятиеләрнең көндәшлеккә сәләтлелеген арттыру өчен акыллы адым.
Бастырылган вакыты: 2025 елның 14 мае