Югары дәрәҗәдәге җитештерү һәм алдынгы фәнни тикшеренүләр өлкәләрендә төгәл статик басымлы һава хәрәкәт платформасы ультра төгәл эшләүгә ирешү өчен төп җиһаз булып тора. Гранит төгәл нигез платформаның төп терәк өлеше булып тора, һәм аның эшчәнлеге эш мохите белән тыгыз бәйләнгән. Бу әйләнә-тирә мохит таләпләрен аңлау һәм үтәү платформаның югары төгәл эшләвен генә түгел, ә предприятиенең бәйле өлкәләрдә көндәшлеккә сәләтлелеген арттыру өчен мөһим өлеш булып тора, бу хакта түбәндә җентекләп язылган.
1. Температура: үлчәм тотрыклылыгын тәэмин итү өчен төгәл контроль
Гранит тотрыклылыгы белән билгеле булса да, аның җылылык киңәю коэффициенты нульгә тигез түгел, һәм температураның кечкенә үзгәрешләре аның үлчәм төгәллегенә тәэсир итә ала. Гомумән алганда, гранитның җылылык киңәю коэффициенты 5-7 × 10⁻⁶/℃ тәшкил итә. Төгәл статик басымлы һава йөзүче хәрәкәт платформасын куллану сценарийында бу кечкенә үзгәреш платформа тарафыннан көчәя, бу хәрәкәт төгәллегенең тайпылышына китерергә мөмкин. Мәсәлән, ярымүткәргеч чип җитештерү процессында, литография процессында позицияләү төгәллеге таләпләре данами дәрәҗәсенә туры килә, әйләнә-тирә мохит температурасы 1°C тирбәнешендә, 1 метр гранит нигезенең ян озынлыгы 5-7 микрон сызыклы киңәю яки кысылу тудырырга мөмкин, бу чип литографиясе үрнәгенең тайпылышын киметү өчен җитәрлек. Шуңа күрә, гранит төгәл нигез белән җиһазландырылган төгәл статик басымлы һава йөзүче платформа, идеаль эш мохите температурасы 20°C ±1°C дәрәҗәсендә катгый контрольдә тотылырга тиеш, предприятиеләр югары төгәллекле даими температуралы кондиционер системасын урнаштыра ала, әйләнә-тирә мохит температурасын даими күзәтеп һәм төгәл көйли ала, гранит нигезенең зурлыгы тотрыклылыгын саклый ала, платформаның югары төгәллекле эшләвен тәэмин итә.
2. дымлылык: акылга сыярлык контроль, базаның эшчәнлеген саклау
Дымлылык шулай ук гранит нигезләренә дә зур йогынты ясый. Югары дымлы мохиттә гранит су парын җиңел сеңдерә, һәм өслектә конденсация барлыкка килергә мөмкин, бу һава флотация системасының нормаль эшләвенә комачаулап кына калмый, ә гранит өслегенең озак вакытлы эрозиясенә китерә, аның төгәллеген һәм хезмәт итү вакытын киметә. Оптик линзаларны тарту остаханәсен мисал итеп алсак, әгәр дымлылык озак вакыт 60% рН югарырак булса, гранит нигезе өслегенә адсорбцияләнгән су пары һава йөзүче пленканың бердәмлеген бозачак, нәтиҗәдә линзаларны тарту төгәллеге һәм өслек кимчелекләре кими. Шуңа күрә эш мохитенең чагыштырма дымлылыгын 40%-60% рН арасында контрольдә тотарга кирәк. Предприятиеләр дымлылыкны реаль вакыт режимында күзәтү һәм контрольдә тоту өчен дымны киметкечләр, дымлылык сенсорлары һәм башка җиһазлар куллана ала, төгәл гранит нигезе өчен яраклы дымлылык мохите булдыра һәм төгәл статик басымлы һава йөзүче хәрәкәт платформасының тотрыклы эшләвен тәэмин итә ала.
3. чисталык: катгый контроль, кисәкчәләрнең комачаулавын бетерү
Тузан кисәкчәләре төгәл статик басымлы һава йөзүче хәрәкәт платформасының "дошманы" булып тора һәм гранит төгәл нигезенә зур зыян китерә. Кечкенә кисәкчәләр газ йөзүче тайпылыш һәм гранит нигез арасындагы газ пленкасы аралыгына кергәч, алар газ пленкасының тигезлеген бозарга, ышкылуны арттырырга һәм хәтта нигез өслеген тырнап алырга мөмкин, платформа хәрәкәтенең төгәллегенә җитди йогынты ясый. Аэрокосмик детальләрнең ультра төгәл эшкәртү остаханәсендә, һавадагы тузан кисәкчәләре гранит нигезенә төшсә, эшкәртү коралының хәрәкәт траекториясе тайпылырга мөмкин, бу детальләрнең эшкәртү төгәллегенә тәэсир итә. Шуңа күрә эш мәйданы бик чиста булырга һәм 10,000 яки аннан да югарырак чисталык стандартына ирешергә тиеш. Предприятиеләр югары нәтиҗәле һава фильтрлары (HEPA) урнаштыру аша һавадагы тузан кисәкчәләрен фильтрлый ала, һәм кешеләр китергән тузанны киметү һәм гранит нигезенең һәм төгәл статик басымлы һава йөзүче хәрәкәт платформасының югары төгәллекле эш мохитен саклау өчен персоналдан тузансыз кием, аяк киеме тышлыклары һ.б. киюне таләп итә.
4. Вибрация: Тигез урын булдыру өчен нәтиҗәле изоляция
Тышкы тибрәнү төгәл статик басымлы һава йөзүче платформаның төгәллегенә җитди комачаулый, гәрчә төгәл гранит нигезе билгеле бер тибрәнүне киметү сәләтенә ия булса да, югары көчле тибрәнү аның буфер чиген бозарга мөмкин. Завод тирәсендәге хәрәкәт һәм зур механик җиһазлар эшләве нәтиҗәсендә барлыкка килгән тибрәнү җир аша гранит нигезенә тапшырыла, бу платформа хәрәкәтенең төгәллегенә комачаулый. Югары дәрәҗәдәге CMMда тибрәнү үлчәү зондының һәм үлчәнәчәк эш кисәге арасындагы контактның тотрыксыз булуына китерергә мөмкин, нәтиҗәдә үлчәү мәгълүматларының тайпылышына китерә. Бу проблеманы хәл итү өчен, җиһазларны урнаштыру мәйданчыгында тибрәнү изоляциясе мәйданчыклары кую, тибрәнү изоляциясе нигезен төзү яки тышкы тибрәнүне актив рәвештә компенсацияләү өчен актив тибрәнү изоляциясе системасын куллану кебек нәтиҗәле тибрәнү изоляциясе чараларын кабул итү кирәк, һәм гранит төгәл нигез һәм төгәл статик басымлы һава йөзүче хәрәкәт платформасы өчен тыныч һәм тотрыклы эш мохите булдыру.
Платформаның төрле тармаклар өчен югары төгәллекле һәм югары тотрыклы хәрәкәт контроле хезмәтләрен күрсәтүен тәэмин итү өчен, югарыда күрсәтелгән экологик таләпләрне үтәгез. Әгәр предприятиеләр җитештерү мохитендә бу детальләргә игътибар итсәләр, алар төгәл җитештерү, фәнни тикшеренүләр һәм башка өлкәләрдә мөмкинлекләрдән файдаланырлар, көндәшлеккә сәләтлелекләрен арттырырлар һәм тотрыклы үсешкә ирешерләр.
Бастырып чыгару вакыты: 2025 елның 10 апреле