Endгары җитештерү һәм заманча фәнни тикшеренүләр өлкәсендә төгәл статик басымлы һавада йөзүче хәрәкәт платформасы ультра төгәллек эшенә ирешү өчен төп җиһаз. Гранит төгәллеге - платформаның төп таяныч өлеше, һәм аның эшләнеше эш шартлары белән тыгыз бәйләнгән. Бу экологик таләпләрне аңлау һәм үтәү платформаның югары төгәл эшләвен тәэмин итә алмый, ә түбәндә җентекләп сурәтләнгән бәйләнешле өлкәләрдә көндәшлеккә сәләтлелеген арттыру өчен предприятиянең мөһим өлеше булып тора.
1. Температура: үлчәмле тотрыклылыкны тәэмин итү өчен төгәл контроль
Гранит тотрыклылыгы белән билгеле булса да, җылылык киңәю коэффициенты нуль түгел, һәм кечкенә температураның үзгәрүе аның үлчәм төгәллегенә тәэсир итә ала. Гомумән алганда, гранитның җылылык киңәю коэффициенты 5-7 × 10⁻⁶ / is. Төгәл статик басымлы һавада йөзүче хәрәкәт платформасының куллану сценарийында бу аз үзгәреш платформа белән көчәйтелә, бу хәрәкәт төгәллегенең тайпылышына китерергә мөмкин. Мәсәлән, ярымүткәргеч чип җитештерү процессында, данами дәрәҗәсенең төгәллек таләпләрен урнаштыру өчен литографик процесс, 1 ° C тирә температураның үзгәрүе, 1 метрлы гранит нигезнең озынлыгы 5-7 микрон сызыклы киңәю яки кысылу ясарга мөмкин, бу чип литографик үрнәген читкә тайпылу өчен җитәрлек. Шуңа күрә, гранит төгәл база белән җиһазландырылган статик басымлы һава йөзү платформасы, идеаль эш мохите температурасы 20 ° C ± 1 ° C катгый контрольдә тотылырга тиеш, предприятияләр югары температураның даими температурасы кондиционер системасын урнаштыра ала, әйләнә-тирә температураны өзлексез күзәтә һәм төгәл көйли, гранит база тотрыклылыгын саклый, платформаның югары төгәл эшләвен тәэмин итә.
2. дымлылык: акыллы контроль, төп эшне саклау
Дымлылык шулай ук төгәл гранит нигезләренә зур йогынты ясый. Humгары дымлы шартларда гранит су парларын үзләштерү җиңел, һәм өслектә конденсация булырга мөмкин, бу һава флотация системасының нормаль эшләвенә комачауламыйча, гранит өслегенең озак вакыт эрозиясенә китерә, аның төгәллеген һәм хезмәт итү вакытын киметә. Оптик линзаны тарту цехын мисал итеп алсак, дым озак вакыт 60% RH-тан югары булса, гранит база өслегендә урнашкан су парлары һава йөзү пленкасының бердәмлеген җимерәчәк, нәтиҗәдә линзаларның тарту төгәллеге һәм өслек җитешсезлекләре кими. Шуңа күрә, эш шартларының чагыштырмача дымлылыгы 40% -60% RH арасында контрольдә тотылырга тиеш. Предприятиеләр дымлыландыргычлар, дым сенсорлары һәм башка җиһазларны реаль вакытта дымлылыкны контрольдә тоту һәм контрольдә тоту, төгәл гранит базасы өчен дымлы мохит булдыру, һәм статик басымлы һава йөзү платформасының тотрыклы эшләвен тәэмин итү өчен куллана ала.
3. чисталык: катгый контроль, кисәкчәләр комачаулавын бетерү
Тузан кисәкчәләре - статик басымлы һава йөзү платформасының "дошманы", һәм гранит төгәллек базасына зур зыян китерәләр. Кечкенә кисәкчәләр газ йөзүче слайдер белән гранит базасы арасындагы газ пленкасына кергәч, алар газ пленкасының бердәмлеген җимерергә, сүрелүчәнлекне арттырырга һәм хәтта нигез өслеген тырнап, платформа хәрәкәтенең төгәллегенә җитди йогынты ясарга мөмкин. Аэрокосмик өлешләрнең ультра төгәл эшкәртү цехында, һавадагы тузан кисәкчәләре гранит нигезенә төшсә, эшкәртү коралының хәрәкәт траекториясе читкә тайпылырга мөмкин, бу өлешләрнең эшкәртү төгәллегенә тәэсир итә. Шуңа күрә эш урыны бик чиста булырга һәм чисталык стандартына 10,000 яки хәтта югарырак булырга тиеш. Предприятиеләр югары эффектив һава фильтрлары (HEPA) урнаштырып, һавада тузан кисәкчәләрен фильтрлый алалар, һәм хезмәткәрләрдән тузансыз кием, аяк киеме каплау һ.б. таләп итәләр, кешеләр китергән тузанны киметәләр, һәм гранит базаның югары төгәл эш шартларын саклыйлар, статик басымлы һава йөзү платформасы.
4. Тибрәнү: шома урын булдыру өчен эффектив изоляция
Тышкы тибрәнү төгәл статик басымлы һава йөзүче платформаның төгәллегенә җитди комачаулый, төгәл гранит базасы билгеле тибрәнү көченә ия булса да, югары көчле тибрәнү буфер чикләрен бозырга мөмкин. Завод тирәсендәге хәрәкәт аркасында барлыкка килгән тибрәнү һәм зур механик җиһазлар эшләве гранит базага җир аша бирелә, бу платформа хәрәкәтенең төгәллегенә комачаулый. Endгары дәрәҗәдәге CMMда тибрәнү үлчәү зонасы белән эш кисәге арасындагы контактның тотрыксыз булуына китерергә мөмкин, нәтиҗәдә үлчәү мәгълүматларының читкә тайпылуы. Бу проблеманы чишү өчен, тибрәнү изоляциясе чараларын кулланырга кирәк, мәсәлән, җиһазлар урнаштыру өлкәсенә тибрәнү изоляциясе салу, тибрәнү изоляциясе нигезен төзү, яки тышкы тибрәнүне актив рәвештә каплау өчен актив тибрәнү изоляциясе системасын куллану, һәм гранит төгәл база һәм төгәл статик басымлы һава йөзү платформасы өчен тыныч һәм тотрыклы эш шартлары булдыру.
Гранит төгәллек базасының өстенлекләрен статик басымлы һава йөзү платформасындагы өстенлекләрне тулысынча уйнау өчен, платформаның төрле тармаклар өчен югары төгәллек һәм югары тотрыклы хәрәкәтне контрольдә тоту хезмәтен тәэмин итү өчен. Әгәр предприятияләр җитештерү мохитендәге бу детальләргә игътибар итә алсалар, алар төгәл җитештерү, фәнни тикшеренүләр һәм башка өлкәләрдә мөмкинлектән файдаланачаклар, көндәшлеккә сәләтлелеген арттырырлар һәм тотрыклы үсешкә ирешерләр.
Пост вакыты: 10-2025 апрель