Ярымүткәргеч җитештерү: Чип җитештерү процессында фотолитография процессы схема схемасын төгәл ваферга күчерергә тиеш. Бер күчәрле һаваның гранит базасы йөзә торган ультра төгәл хәрәкәт модуле литография җиһазларында вафер өстәленә югары төгәл урнашу һәм тотрыклы ярдәм күрсәтә ала. Мисал өчен, ASML һәм башка халыкара танылган литография машиналары җитештерүчеләре гранит база һавасында йөзүче хәрәкәт модулларын үзләренең югары җиһазларында кулланалар, алар литография үрнәгенең төгәллеген тәэмин итү өчен, нанометр дәрәҗәсендә вафинның урнашу төгәллеген контрольдә тота алалар, шуның белән чипның интеграциясен һәм эшләвен яхшырталар.
Төгәл үлчәү кыры: CMM - сәнәгать производствосында гадәттә кулланыла торган төгәл үлчәү җайланмасы, ул эш өлешенең зурлыгын, формасын һәм позиция төгәллеген үлчәү өчен кулланыла. Гранит нигезендә йөзүче бер ук һаваның ультра төгәл хәрәкәт модуле CMM хәрәкәт платформасы буларак кулланылырга мөмкин, ул югары төгәл сызыклы хәрәкәтне тормышка ашыра ала һәм үлчәү зонасы өчен тотрыклы хәрәкәт траекториясен тәэмин итә ала. Мәсәлән, Hexagon-ның югары очлы CMM бу комбинацияне зур һәм катлаулы өлешләрне микрон дәрәҗәсенә кадәр төгәллек белән үлчәү өчен куллана, автомобиль, аэрокосмос һәм башка тармакларда детальләрнең сыйфатын контрольдә тоту өчен көчле гарантия бирә.
Аэрокосмик кыр: Аэрокосмик өлешләрне эшкәртүдә һәм сынауда югары төгәллек кирәк. Мәсәлән, самолет двигателен эшкәртү коралның хәрәкәт траекториясен төгәл контрольдә тотуны таләп итә. Бер ук күчәрдәге һава йөзүче ультра төгәл хәрәкәт модулының гранит базасы биш күчәр эшкәртү үзәгенә һәм корал өчен югары төгәл хәрәкәт контроле белән тәэмин итү һәм пычакның эшкәртү төгәллеге дизайн таләпләренә туры килүен тәэмин итү өчен кулланылырга мөмкин. Шул ук вакытта, аэро двигательне җыю процессында, шулай ук, детальләрнең җыю төгәллеген ачыклау өчен, югары төгәл үлчәү җайланмаларын кулланырга кирәк. Гранит базаның һава йөзүче хәрәкәт модуле монтажлау сыйфатын тәэмин итү өчен үлчәү җайланмалары өчен тотрыклы ярдәм һәм төгәл хәрәкәт бирә ала.
Оптик инспекция өлкәсе: Оптик компонентларны җитештерү һәм сынау процессында оптик компонентларны югары төгәл урнаштыру һәм үлчәү эшләрен башкарырга кирәк. Мәсәлән, көзге һәм линза кебек югары төгәл оптик компонентлар җитештергәндә, өслек формасының төгәллеген ачыклау өчен интерферометрлар һәм башка җиһазлар кулланырга кирәк. Бер күчәрле һаваның йөзүче ультра төгәл хәрәкәт модулының гранит базасы интерферометрның хәрәкәт платформасы буларак кулланылырга мөмкин, ул суб-микрон урнашу төгәллеген аңлый һәм оптик компонентларны табу өчен төгәл мәгълүмат бирә ала. Моннан тыш, лазер эшкәртү җиһазларында шулай ук югары төгәл хәрәкәт платформасын кулланырга кирәк, лазер нурының сканер траекториясен контрольдә тоту өчен, һава йөзүче хәрәкәт модулының гранит базасы бу таләпне канәгатьләндерә ала, югары төгәл лазер эшкәртүгә ирешә.
Пост вакыты: 07-2025 апрель