Ярымүткәргеч җитештерү: Чип җитештерү процессында фотолитография процессы схема үрнәген пластинага төгәл күчерергә тиеш. Бер күчәрле һавада йөзүче ультра төгәл хәрәкәт модуленең гранит нигезе литография җиһазларында пластина өстәлен югары төгәллек белән урнаштыру һәм тотрыклы терәк белән тәэмин итә ала. Мәсәлән, ASML һәм башка халыкара дәрәҗәдә танылган литография машинасы җитештерүчеләре үзләренең югары сыйфатлы җиһазларында гранит нигезле һавада йөзүче хәрәкәт модульләрен кулланалар, алар литография үрнәгенең төгәллеген тәэмин итү өчен нанометр дәрәҗәсендә пластинаның урнашу төгәллеген контрольдә тота ала, шуның белән чипның интеграциясен һәм эшчәнлеген яхшырта ала.
Төгәл үлчәү өлкәсе: CMM - сәнәгать җитештерүендә еш кулланыла торган төгәл үлчәү җиһазы, ул эш кисәгенең зурлыгын, формасын һәм урнашу төгәллеген үлчәү өчен кулланыла. Гранит нигезендәге бер күчәрле һава йөзгеченең ультра төгәл хәрәкәт модуле CMM хәрәкәт платформасы буларак кулланылырга мөмкин, ул югары төгәллекле сызыклы хәрәкәтне гамәлгә ашыра һәм үлчәү зонды өчен тотрыклы хәрәкәт траекториясен тәэмин итә ала. Мәсәлән, Hexagon'ның югары сыйфатлы CMM бу комбинацияне зур һәм катлаулы детальләрне микрон дәрәҗәсенә кадәр үлчәү төгәллеге белән үлчәү өчен куллана, бу автомобиль, аэрокосмик һәм башка тармакларда детальләрнең сыйфатын контрольдә тоту өчен ныклы гарантия бирә.
Аэрокосмик өлкә: Аэрокосмик детальләрне эшкәртү һәм сынау вакытында югары төгәллек таләп ителә. Мәсәлән, очкыч двигательләренең пычакларын эшкәртү өчен коралның хәрәкәт траекториясен төгәл контрольдә тоту кирәк, бу пычак профиленең төгәллеген тәэмин итү өчен кирәк. Бер күчәрле һава йөзүче ультра төгәл хәрәкәт модуленең гранит нигезен биш күчәрле эшкәртү үзәгенә һәм башка җиһазларга кулланып, корал өчен югары төгәллекле хәрәкәт контролен тәэмин итәргә һәм пычакның эшкәртү төгәллеге проект таләпләренә туры килүен тәэмин итәргә мөмкин. Шул ук вакытта, аэродром двигателен җыю процессында детальләрнең җыю төгәллеген ачыклау өчен югары төгәллекле үлчәү җиһазларын куллану да кирәк. Гранит нигезенең һава йөзүче хәрәкәт модуле җыю сыйфатын тәэмин итү өчен үлчәү җиһазлары өчен тотрыклы терәк һәм төгәл хәрәкәт бирә ала.
Оптик тикшерү өлкәсе: Оптик компонентларны җитештерү һәм сынау процессында оптик компонентларны югары төгәллекле позицияләү һәм үлчәү кирәк. Мәсәлән, көзгеләр һәм линзалар кебек югары төгәллекле оптик компонентлар җитештергәндә, өслек формасының төгәллеген ачыклау өчен интерферометрлар һәм башка җиһазлар куллану кирәк. Бер күчәрле һавада йөзүче ультра төгәл хәрәкәт модуленең гранит нигезе интерферометрның хәрәкәт платформасы буларак кулланылырга мөмкин, ул субмикронлы позицияләү төгәллеген гамәлгә ашыра һәм оптик компонентларны ачыклау өчен төгәл мәгълүмат ярдәме күрсәтә ала. Моннан тыш, лазер эшкәртү җиһазларында лазер нурының сканерлау траекториясен контрольдә тоту өчен югары төгәллекле хәрәкәт платформасын куллану да кирәк, һавада йөзүче хәрәкәт модуленең гранит нигезе бу таләпне канәгатьләндерә ала, югары төгәллекле лазер эшкәртүгә ирешү өчен.
Бастырып чыгару вакыты: 2025 елның 7 апреле