Ярымүткәргеч индустриясе наноскаль җитештерү процессларына таба барганда, чип җитештерүнең төп элементы буларак, вафер кисү җиһазларның тотрыклылыгы өчен бик катгый таләпләргә ия. Гранит базасы, искиткеч тибрәнүчәнлеге һәм җылылык тотрыклылыгы белән, югары төгәллек һәм югары эффективлы вафер эшкәртүгә ышанычлы гарантия биреп, вафат кисү җиһазларының төп компонентына әверелде. ?
Highгары дампинг һәм тибрәнүгә каршы характеристикалар: Нано дәрәҗәсендә кисү төгәллеген саклау
Вафин кисү җайланмалары эшләгәндә, шакмакның югары тизлекле әйләнеше, кисү коралының югары ешлыктагы тибрәнүе һәм әйләнә-тирә җиһазлар тудырган экологик тибрәнү кисү төгәллегенә зур йогынты ясаячак. Традицион металл нигезләрнең сүндерү эше чикләнгән, тибрәнүләрне тиз җиңеләйтү кыенлаша, бу кисү коралларының микрон дәрәҗәсендәге селкенүенә китерә һәм вафердагы киселгән кырлар, ярыклар кебек кимчелекләрне турыдан-туры китерә. Гранит базаның югары дампинг характеристикалары бу проблеманы төптән чиштеләр. ?
Гранитның эчке минераль кристаллары тыгыз бәйләнгән, табигый энергия тарату структурасын тәшкил итә. Тибрәнү нигезгә тапшырылганда, аның эчке микросруктурасы тибрәнү энергиясен тиз җылылык энергиясенә әйләндерә ала, нәтиҗәле тибрәнү көченә ирешә. Эксперименталь мәгълүматлар шуны күрсәтә: шул ук тибрәнү шартларында гранит база тибрәнү амплитудасын 0,5 секунд эчендә 90% тан арттыра ала, ә металл база 3-5 секунд таләп итә. Бу искиткеч сүндерү эше наноскаль кисү процессында кисү коралының тотрыклы булуын тәэмин итә, вафин кисүнең шома читен гарантияли һәм кисү тизлеген эффектив киметә. Мисал өчен, 5нм вафер кисү процессында, гранит базасы булган җиһазлар 10μм эчендә кисү күләмен контрольдә тота ала, бу металл база җиһазларына караганда 40% югарырак. ?
Rылылык киңәюенең ультра түбән коэффициенты: Температураның үзгәрүенә чыдам
Вафер кисү процессында, кисү коралларының сүрелүеннән барлыкка килгән җылылык, җиһазның озак вакыт эшләвеннән җылылык таралуы, остаханә мохит температурасының үзгәрүе җиһаз компонентларының җылылык деформациясенә китерергә мөмкин. Металл материалларның җылылык киңәю коэффициенты чагыштырмача югары (якынча 12 × 10⁻⁶ / ℃). Температура 5 by үзгәргәндә, 1 метр озынлыктагы металл база 60μм деформациясен кичерергә мөмкин, бу кисү позициясенең үзгәрүенә һәм кисү төгәллегенә җитди йогынты ясавына китерә. ?
Гранит базаның җылылык киңәю коэффициенты (4-8) × 10⁻⁶ / is, бу металл материалларның өчтән береннән кимрәк. Шул ук температураның үзгәрүе астында аның үлчәмле үзгәрүе игътибарсыз калырга мөмкин. Билгеле ярымүткәргеч җитештерү предприятиясенең үлчәнгән мәгълүматлары шуны күрсәтә: 8 сәгатьлек өзлексез югары интенсив вафер кисү вакытында, әйләнә-тирә температура 10 by үзгәргәндә, гранит базасы булган җиһазның кисү урыны 20μm-тан ким түгел, металл базасы булган җиһаз 60 ммнан артып китә. Бу тотрыклы җылылык эше кисү коралы белән вафин арасындагы чагыштырма позициянең һәрвакыт төгәл булып калуын тәэмин итә. Озак вакытлы өзлексез эшләгәндә яки экологик температурада кискен үзгәрешләр булганда да, кисү төгәллегенең эзлеклелеге сакланырга мөмкин. ?
Каты һәм киемгә каршы тору: equipmentиһазның озак вакытлы тотрыклы эшләвен тәэмин итү
Тибрәнү каршылыгы һәм җылылык тотрыклылыгы өстенлекләренә өстәп, гранит базаның югары катгыйлыгы һәм кием каршылыгы вафер кисү җайланмаларының ышанычлылыгын тагын да арттыра. Гранитның Mohs шкаласында 6-7 катылыгы һәм кысу көче 120МПа-тан артык. Ул кисү процессында гаять зур басымга һәм тәэсир көченә каршы тора ала һәм деформациягә бирелми. Шул ук вакытта аның тыгыз структурасы искиткеч киемгә каршы тора. Еш кына кисү операцияләре вакытында да, баз өслеге тузарга омтылмый, җиһазның озак вакыт дәвамында төгәл төгәл эшләвен тәэмин итә. ?
Практик кулланмаларда, күпчелек вафер җитештерү предприятияләре гранит нигезләре белән кисү җиһазларын кулланып, продукт җитештерүчәнлеген һәм җитештерү нәтиҗәлелеген сизелерлек яхшырттылар. Глобаль әйдәп баручы фабрикалардан алынган мәгълүматлар шуны күрсәтә: гранит база җиһазлары кертелгәннән соң, вафин кисү күләме 88% тан 95% тан артты, җиһазларга хезмәт күрсәтү циклы өч тапкыр озайтылды, җитештерү чыгымнарын эффектив киметте һәм базар көндәшлелеген арттырды. ?
Ахырда, гранит базасы, искиткеч тибрәнүчәнлеге, җылылык тотрыклылыгы, югары катгыйлыгы һәм киемгә каршы торуы белән, вафер кисү җиһазлары өчен комплекслы эш гарантияләрен бирә. Ярымүткәргеч технологиясе югары төгәллеккә таба барган саен, гранит нигезләр ярымүткәргеч индустриясенең өзлексез инновацион үсешенә ярдәм итеп, вафер җитештерү өлкәсендә мөһим роль уйныйлар.
Пост вакыты: 20-2025 май