1. Үлчәм төгәллеге
Яссылык: нигез өслегенең яссылыгы бик югары стандартка җитәргә тиеш, һәм яссылык хатасы теләсә нинди 100мм × 100мм мәйданда ±0,5μм дан артмаска тиеш; Бөтен нигез яссылыгы өчен яссылык хатасы ±1μм эчендә контрольдә тотыла. Бу ярымүткәргеч җиһазларның төп компонентларын, мәсәлән, литография җиһазларының экспозиция башы һәм чипны ачыклау җиһазларының зонд өстәлен, югары төгәллекле яссылыкта тотрыклы урнаштырырга һәм эшләтергә мөмкинлек бирә, җиһазларның оптик юл һәм схема тоташуының төгәллеген тәэмин итә, һәм нигезнең тигез булмаган яссылыгы аркасында компонентларның күчү тайпылышын булдырмый, бу ярымүткәргеч чип җитештерүгә һәм ачыклау төгәллегенә тәэсир итә.
Турылык: Нигезнең һәр кырыеның турылыгы бик мөһим. Озынлык юнәлешендә турылык хатасы 1 м га ±1 мкм дан артмаска тиеш; Диагональ турылык хатасы ±1,5 мкм эчендә контрольдә тотыла. Югары төгәллекле литография машинасын мисал итеп алсак, өстәл нигезнең юнәлеш бирүче рельсы буйлап хәрәкәт иткәндә, нигез кырыеның турылыгы өстәлнең траектория төгәллегенә турыдан-туры тәэсир итә. Турылык стандартларга туры килмәсә, литография үрнәге бозылачак һәм деформацияләнәчәк, нәтиҗәдә чип җитештерү нәтиҗәлелеге кими.
Параллелизм: Нигезнең өске һәм аскы өслекләренең параллелизм хатасы ±1 мкм эчендә контрольдә тотылырга тиеш. Яхшы параллелизм җиһазларны урнаштырганнан соң гомуми авырлык үзәгенең тотрыклылыгын тәэмин итә ала, һәм һәр компонентның көче бертигез була. Ярымүткәргеч пластина җитештерү җиһазларында, нигезнең өске һәм аскы өслекләре параллель булмаса, пластина эшкәртү вакытында авышачак, бу эшкәртү һәм каплау кебек процессның бердәмлегенә тәэсир итәчәк, һәм шулай итеп чипның эшләвенә тәэсир итәчәк.
Икенчедән, материал үзенчәлекләре
Катылык: Гранит нигез материалының катылыгы Shore катылыгы HS70 яки аннан да югарырак булырга тиеш. Югары катылык җиһазлар эшләгәндә компонентларның еш хәрәкәтләнүе һәм ышкылуы аркасында килеп чыккан тузуга нәтиҗәле каршы тора ала, бу озак вакыт кулланылганнан соң нигезнең югары төгәллекле үлчәмен саклап калуын тәэмин итә. Чип төрү җиһазларында робот кулы еш кына чипны тотып, нигезгә куя, һәм нигезнең югары катылыгы өслекнең тырналу җиңел булмавын һәм робот кулы хәрәкәтенең төгәллеген саклап калуын тәэмин итә.
Тыгызлык: Материал тыгызлыгы 2,6-3,1 г/см³ арасында булырга тиеш. Тиешле тыгызлык нигезнең яхшы сыйфатлы тотрыклылыгын тәэмин итә, бу җиһазларны тотып тору өчен җитәрлек катылыкны тәэмин итә ала, һәм артык авырлык аркасында җиһазларны урнаштыруда һәм ташуда кыенлыклар тудырмаячак. Зур ярымүткәргеч тикшерү җиһазларында тотрыклы нигез тыгызлыгы җиһазлар эшләгәндә тибрәнү үткәрүчәнлеген киметергә һәм ачыклау төгәллеген яхшыртырга ярдәм итә.
Җылылык тотрыклылыгы: сызыкча киңәю коэффициенты 5×10⁻⁶/℃ тан кимрәк. Ярымүткәргеч җиһазлар температура үзгәрешләренә бик сизгер, һәм нигезнең җылылык тотрыклылыгы җиһазның төгәллегенә турыдан-туры бәйле. Литография процессында температура тирбәнешләре нигезнең киңәюенә яки кыскаруына китерергә мөмкин, нәтиҗәдә экспозиция рәсеменең зурлыгында тайпылыш барлыкка килә. Сызыкча киңәю коэффициенты түбән булган гранит нигез җиһазның эш температурасы үзгәргәндә (гадәттә 20-30°C) зурлык үзгәрешен бик кечкенә диапазонда контрольдә тота ала, литография төгәллеген тәэмин итә.
Өченчедән, өслек сыйфаты
Тупаслык: Нигездәге өслек тупаслыгының Ra кыйммәте 0,05 мкм дан артмый. Бик шома өслек тузан һәм пычракларның адсорбциясен киметә һәм ярымүткәргеч чип җитештерү мохитенең чисталыгына йогынтыны киметә ала. Чип җитештерүнең тузансыз цехында вак кисәкчәләр чипның кыска ялганышы кебек кимчелекләргә китерергә мөмкин, ә нигезнең шома өслеге цехның чиста мохитен сакларга һәм чипның чыгышын яхшыртырга ярдәм итә.
Микроскопик кимчелекләр: Нигез өслегендә күренерлек ярыклар, ком тишекләре, мәсамә һәм башка кимчелекләр булырга тиеш түгел. Микроскопик дәрәҗәдә, квадрат сантиметрга 1 мкм дан зуррак диаметрлы кимчелекләр саны электрон микроскопия ярдәмендә 3тән артмаска тиеш. Бу кимчелекләр нигезнең конструкция ныклыгына һәм өслек тигезлегенә тәэсир итәчәк, аннары җиһазның тотрыклылыгына һәм төгәллегенә тәэсир итәчәк.
Дүртенчедән, тотрыклылык һәм бәрелүгә чыдамлык
Динамик тотрыклылык: Ярымүткәргеч җиһазлар эшләве нәтиҗәсендә барлыкка килгән симуляцияләнгән тибрәнү мохитендә (тибрәнү ешлыгы диапазоны 10-1000Гц, амплитудасы 0,01-0,1 мм), нигездәге төп урнаштыру нокталарының тибрәнү күчүе ±0,05 мкм эчендә контрольдә тотылырга тиеш. Мисал итеп, ярымүткәргеч сынау җиһазларын алсак, әгәр җайланманың үз тибрәнүе һәм тирә-юнь мохит тибрәнүе эш вакытында нигезгә тапшырылса, сынау сигналының төгәллегенә комачауларга мөмкин. Яхшы динамик тотрыклылык сынау нәтиҗәләренең ышанычлы булуын тәэмин итә ала.
Сейсмик каршылык: База бик яхшы сейсмик күрсәткечләргә ия булырга тиеш, һәм кинәт тышкы тибрәнүләргә (мәсәлән, сейсмик дулкын симуляциясе тибрәнүе) дучар булганда тибрәнү энергиясен тиз киметергә һәм җиһазларның төп компонентларының чагыштырмача урнашуы ±0,1 мкм эчендә үзгәрүен тәэмин итәргә мөмкин. Җир тетрәү куркынычы булган районнардагы ярымүткәргеч заводларда җир тетрәү куркынычы булмаган нигезләр кыйммәтле ярымүткәргеч җиһазларны нәтиҗәле саклый ала, җиһазларның зарарлану һәм тибрәнү аркасында җитештерүнең өзелүе куркынычын киметә.
5. Химик тотрыклылык
Коррозиягә чыдамлык: Гранит нигезе ярымүткәргечләр җитештерү процессында гадәти химик матдәләрнең, мәсәлән, фторлы водород кислотасы, аква регия һ.б. коррозиясенә чыдам булырга тиеш. 24 сәгать дәвамында 40% масса өлеше булган фторлы водород кислотасы эремәсендә чылаткач, өслек сыйфаты югалу тизлеге 0,01% тан артмаска тиеш; аква региядә (тоз кислотасының азот кислотасына күләм нисбәте 3:1) 12 сәгать чылаткач, өслектә коррозия эзләре күренми. Ярымүткәргечләр җитештерү процессы төрле химик эшкәртү һәм чистарту процессларын үз эченә ала, һәм нигезнең яхшы коррозиягә чыдамлыгы химик мохиттә озак вакыт куллануның эрозиягә дучар булмавын, төгәллек һәм структура бөтенлеге саклануын тәэмин итә ала.
Пычрануга каршы тору: Төп материал ярымүткәргеч җитештерү мохитендә органик газлар, металл ионнары һ.б. кебек гадәти пычраткыч матдәләрне бик түбән сеңдерә. 72 сәгать дәвамында 10 PPM органик газлар (мәсәлән, бензол, толуол) һәм 1 ppm металл ионнары (мәсәлән, бакыр ионнары, тимер ионнары) булган мохиткә урнаштырылганда, нигез өслегендә пычраткыч матдәләрнең адсорбциясе нәтиҗәсендә килеп чыккан эшчәнлек үзгәреше бик аз. Бу пычраткыч матдәләрнең нигез өслегеннән чип җитештерү өлкәсенә күчүенә һәм чип сыйфатына тәэсир итүенә комачаулый.
Бастырып чыгару вакыты: 2025 елның 28 марты