Төгәл үлчәүләр өлкәсендә, гранит төгәл платформасы үзенең югары тотрыклылыгы, югары катылыгы һәм яхшы тузуга чыдамлыгы белән күп югары төгәллекле үлчәү эшләре өчен идеаль нигез булып тора. Ләкин, әйләнә-тирә мохит факторларының температура тирбәнешләре, караңгыда яшеренгән "төгәл үтерүче" кебек, гранит төгәл платформасының үлчәү төгәллегенә сизелерлек йогынты ясый. Үлчәү эшләренең төгәллеген һәм ышанычлылыгын тәэмин итү өчен йогынты чиген тирәнтен өйрәнү бик мөһим.
Гранит тотрыклылыгы белән билгеле булса да, ул температура үзгәрешләренә бирешми. Аның төп компонентлары - кварц, дала шпаты һәм башка минераллар, алар төрле температураларда җылылык киңәюе һәм кысылу күренешен тудыра. Әйләнә-тирә мохит температурасы күтәрелгәндә, гранит төгәл платформасы җылына һәм киңәя, һәм платформаның зурлыгы бераз үзгәрә. Температура төшкәч, ул башлангыч хәленә кайта. Кечкенә зурлыктагы үзгәрешләр төгәл үлчәү сценарийларында үлчәү нәтиҗәләренә тәэсир итүче төп факторларга зурайтылырга мөмкин.
Мисал итеп, киң таралган координата үлчәү коралын туры китереп гранит платформасын алсак, югары төгәллекле үлчәү эшендә үлчәү төгәллеге таләпләре еш кына микрон дәрәҗәсенә яки аннан да югарыракка җитә. 20℃ стандарт температурада платформаның төрле үлчәм параметрлары идеаль хәлдә була дип фаразлана, һәм эш кисәген үлчәү юлы белән төгәл мәгълүматлар алырга мөмкин. Әйләнә-тирә мохит температурасы үзгәргәндә, хәл бик башкача була. Күп санлы эксперименталь мәгълүмат статистикасы һәм теоретик анализдан соң, гадәти шартларда, әйләнә-тирә мохит температурасы 1℃ тирбәлгәндә, гранит төгәл платформасының сызыклы киңәюе яки кыскаруы якынча 5-7 × 10⁻⁶/℃ тәшкил итә. Бу 1 метрлы гранит платформасы өчен, температура 1°C үзгәрсә, ян озынлыгы 5-7 микронга үзгәрергә мөмкин дигән сүз. Төгәл үлчәүләрдә, зурлыкның мондый үзгәреше кабул ителгән диапазоннан артык үлчәү хаталарына китерергә җитә.
Төрле төгәллек дәрәҗәләре таләп иткән үлчәү эшләре өчен температура тирбәнешләренең йогынты чиге дә төрле. Гадәти төгәллек үлчәүләрендә, мәсәлән, механик детальләрнең зурлыгын үлчәүдә, рөхсәт ителгән үлчәү хатасы ±20 микрон эчендә булса, югарыдагы киңәю коэффициенты исәпләүләре буенча, платформа зурлыгы үзгәрүе аркасында килеп чыккан үлчәү хатасын кабул ителгән дәрәҗәдә контрольдә тоту өчен температура тирбәнешен ± 3-4 ℃ диапазонында контрольдә тотарга кирәк. Ярымүткәргеч чип җитештерүдә литография процессын үлчәү кебек югары төгәллек таләпләре булган өлкәләрдә хата ± 1 микрон эчендә рөхсәт ителә, ә температура тирбәнешен ± 0,1-0,2 ° C эчендә катгый контрольдә тотарга кирәк. Температура тирбәнеше бу чиктән артып киткәч, гранит платформасының җылылык киңәюе һәм кысылуы үлчәү нәтиҗәләрендә тайпылышларга китерергә мөмкин, бу чип җитештерү нәтиҗәлелегенә тәэсир итәчәк.
Гранит төгәл платформасының үлчәү төгәллегенә әйләнә-тирә мохит температурасы тирбәнешләренең йогынтысын хәл итү өчен, практик эштә еш кына күп чаралар кулланыла. Мәсәлән, температура тирбәнешләрен бик кечкенә диапазонда контрольдә тоту өчен үлчәү мохитенә югары төгәллекле даими температура җиһазлары урнаштырыла; үлчәү мәгълүматлары буенча температура компенсациясе башкарыла, һәм үлчәү нәтиҗәләре платформаның җылылык киңәю коэффициентына һәм реаль вакыт температура үзгәрешләренә карап программа алгоритмы ярдәмендә төзәтелә. Ләкин, нинди чаралар күрелсә дә, әйләнә-тирә мохит температурасы тирбәнешләренең гранит төгәл платформасының үлчәү төгәллегенә йогынтысын төгәл аңлау төгәл һәм ышанычлы үлчәү эшен тәэмин итүнең алшарты булып тора.
Бастырылган вакыты: 2025 елның 3 апреле