Төгәл үлчәү өлкәсендә, гранит төгәллек платформасы, аның искиткеч тотрыклылыгы, югары катылыгы һәм яхшы киемгә чыдамлыгы, бик югары төгәл үлчәү эше өчен идеаль нигез булып тора. Ләкин, экологик факторлардагы температураның үзгәрүе, караңгыда яшерелгән "төгәл үтерүче" кебек, гранит төгәллек платформасының үлчәү төгәллегенә әһәмиятсез йогынты ясый. Measлчәү эшенең төгәллеген һәм ышанычлылыгын тәэмин итү өчен тәэсир бусагасын тирәнтен тикшерү зур әһәмияткә ия.
Гранит тотрыклылыгы белән билгеле булса да, температура үзгәрүеннән сакланмый. Аның төп компонентлары - кварц, фельдспар һәм башка минераллар, алар төрле температураларда җылылык киңәюен һәм кысылу күренешен китерәчәк. Әйләнә-тирә температура күтәрелгәч, гранит төгәл платформа җылытыла һәм киңәйтелә, платформаның күләме бераз үзгәрәчәк. Температура төшкәч, ул элекке хәленә кире кайтачак. Кечкенә зурлыктагы үзгәрешләр төгәл үлчәү сценарийларында үлчәү нәтиҗәләренә тәэсир итүче төп факторларга зурайтылырга мөмкин.
Гранит платформасына туры килгән гомуми координатаны үлчәү коралын мисал итеп алсак, югары төгәл үлчәү биремендә үлчәү төгәллеге таләпләре еш микрон дәрәҗәсенә яки хәтта югарырак дәрәҗәгә җитә. Стандарт температурада 20 ℃ булганда, платформаның төрле үлчәм параметрлары идеаль хәлдә, һәм эш кисәген үлчәп төгәл мәгълүмат алырга мөмкин. Әйләнә-тирә температура үзгәргәндә, хәл башкачарак. Күп санлы эксперименталь мәгълүмат статистикасы һәм теоретик анализдан соң, гадәти шартларда, экологик температураның үзгәрүе 1 ℃, гранит төгәл платформаның сызыклы киңәюе яки кысылуы якынча 5-7 × 10⁻⁶ / is. Димәк, озынлыгы 1 метр булган гранит платформа өчен, температура 1 ° C ка үзгәрсә, ян озынлыгы 5-7 микронга үзгәрергә мөмкин, төгәл үлчәүләрдә, үлчәмнең мондый үзгәрүе кабул ителгән диапазоннан тыш үлчәү хаталарын китереп чыгару өчен җитәрлек.
Төрле төгәллек дәрәҗәләре таләп иткән үлчәү эше өчен, температураның үзгәрү тәэсире бусагасы да төрле. Гадәттәге төгәл үлчәүдә, мәсәлән, механик өлешләрнең үлчәмен үлчәү, рөхсәт ителгән үлчәү хатасы ± 20 микрон эчендә булса, югарыдагы киңәйтү коэффициентын исәпләү буенча, платформаның зурлыгы үзгәрү аркасында килеп чыккан үлчәү хатасын контрольдә тоту өчен, температураның үзгәрүен ± 3-4 range диапазонында контрольдә тотарга кирәк. Icгары төгәллек таләпләре булган өлкәләрдә, мәсәлән, ярымүткәргеч чип җитештерүдә литография процессын үлчәү, хата ± 1 микрон эчендә рөхсәт ителә, һәм температураның үзгәрүен ± 0.1-0.2 ° C катгый контрольдә тотарга кирәк, температураның үзгәрүе бу бусагадан арткач, гранит платформаның җылылык киңәюе һәм кысылуы үлчәү нәтиҗәләрендә тайпылышларга китерергә мөмкин.
Гранит төгәл платформаның үлчәү төгәллегенә әйләнә-тирә температураның үзгәрүенең йогынтысын җиңәр өчен, практик эштә еш чаралар күрелә. Мәсәлән, температураның үзгәрүен бик кечкенә диапазонда контрольдә тоту өчен, югары төгәл даими температура җиһазлары үлчәү мохитенә урнаштырылган. Температура компенсациясе үлчәү мәгълүматларында башкарыла, һәм үлчәү нәтиҗәләре платформаның җылылык киңәйтү коэффициенты һәм реаль вакыттагы температураның үзгәрүе буенча программа алгоритмы белән төзәтелә. Ләкин, нинди чаралар күрелсә дә, әйләнә-тирә температураның үзгәрүенең гранит төгәл платформаның үлчәү төгәллегенә тәэсирен төгәл аңлау - төгәл һәм ышанычлы үлчәү эшләрен тәэмин итү өчен шарт.
Пост вакыты: апрель-03-2025