Ярымүткәргеч җитештерүнең төгәл чылбырында, вафер тапшыру системасы "чип җитештерү линиясенең тормыш сызыгы" кебек, һәм аның тотрыклылыгы һәм төгәллеге чипларның уңыш дәрәҗәсен турыдан-туры билгели. Вафер күчерү системасының яңа буыны сызыклы двигательләрне гранит нигезләре белән берләштерә, һәм гранит материалларның уникаль өстенлекләре нәкъ югары җитештерүчәнлекне ачу өчен төп код.
?
Гранит базасы: тотрыклы тапшыру өчен "кыя-нигез" төзү
Гранит, йөзләрчә миллион еллар геологик чистарту кичергән, тыгыз һәм бердәм эчке минераль кристаллашуны үз эченә ала. Бу табигый характеристика аны вафер тапшыру системалары өчен идеаль төп материал итә. Ярымүткәргеч чистарту бүлмәләренең катлаулы мохитендә, гранит, җылылык киңәюенең ультра түбән коэффициенты белән (5-7 × 10⁻⁶ / only), җиһазлар эшләгәндә барлыкка килгән җылылыкка һәм экологик температураның үзгәрүенә каршы тора ала, база зурлыгының тотрыклылыгын тәэмин итә һәм җылылык деформациясе аркасында юл читләшүеннән саклый. Аның искиткеч тибрәнү сүндерү эше сызыклы моторларны эшләтеп җибәрү, ябу һәм тизләтү вакытында барлыкка килгән механик тибрәнүләрне тиз сеңдерә ала, шулай ук остаханәдәге башка җиһазлар эшләве аркасында китерелгән тышкы комачаулыклар, вафер тапшыру өчен тотрыклы платформа тәэмин итә. ?
Шул ук вакытта, гранитның химик тотрыклылыгы аның ярымүткәргеч остаханәләрендә бозылмавын, дат булмавын тәэмин итә, анда кислота һәм алкалы реагентлары үзгәрүчән һәм югары чисталык таләп ителә, шулай итеп материаль картлык яки пычраткыч adsorption аркасында тапшыру төгәллегенә тәэсир итмәс. Шома һәм тыгыз өслек характеристикалары тузан ябышуны эффективрак киметә ала, чиста бүлмәләрнең тузансыз стандартларына туры килә һәм тамырдан вафер пычрану куркынычын бетерә ала. ?
Сызыклы моторларның һәм гранитның "алтын партнерлыгы" эффекты
Сызыклы двигательләр, механик тапшыруны чистарту, югары тизләнеш һәм югары җавап тизлеге булмаган характеристикалары белән, "тиз, төгәл һәм тотрыклы" өстенлекләре белән вафер тапшыруны бирәләр. Гранит базасы аның өчен нык һәм ышанычлы ярдәм платформасы бирә. Икесе бергә эшлиләр, спектакльдә сикерүгә ирешәләр. Сызыклы мотор вафер йөртүчене гранит баз трассасында йөртергә этәргәндә, базның көчле катгыйлыгы һәм тотрыклылыгы мотор йөртү көченең эффектив тапшырылуын тәэмин итә, төп деформация аркасында көч югалтудан яки артта калудан саклый. ?
Наноскаль төгәллеккә сорау белән сызыклы двигательләр суб-микрон дәрәҗәсендәге күчерүне контрольдә тота ала. Гранит нигезләрнең югары төгәл эшкәртү характеристикалары (яссылык хаталары ± 1μm эчендә контрольдә тотыла) сызыклы двигательләрнең төгәл контроленә туры килә, вафер тапшыру вакытында урнашу хата ± 5μm-тан ким түгел. Төрле процесс җиһазлары арасында югары тизлектәге шаттлмы яки ваферны тапшыру өчен төгәл машина кую урынымы, сызыклы двигательләр һәм гранит нигезләр комбинациясе вафер тапшыруында "нульдән тайпылышны һәм нуль селкенүен" тәэмин итә ала. ?
Промышленность практикасын тикшерү: эффективлыкны һәм уңышны арттыру
Вафер күчерү системасын яңартканнан соң, әйдәп баручы глобаль ярымүткәргеч предприятия сызыклы мотор + гранит база эремәсен кабул итте, бу ваферның эффективлыгын 40% ка арттырды, тапшыру процессында бәрелешү һәм офсет кебек кимчелекләр килеп чыгу дәрәҗәсен 85% ка киметте, һәм чипларның гомуми уңыш дәрәҗәсен 6% ка яхшыртты. Мәгълүмат артында гранит базасы белән тәэмин ителгән тотрыклылык гарантиясе һәм сызыклы моторның югары тизлекле һәм төгәл синергия эффекты тора, бу вафер тапшыру процессындагы югалту һәм хатаны сизелерлек киметә. ?
Материаль үзлекләрдән төгәл җитештерүгә, җитештерү өстенлекләреннән практик тикшерүгә кадәр, сызыклы двигательләр һәм гранит нигезләр комбинациясе вафер тапшыру системалары стандартларын яңадан билгеләде. Киләчәктә ярымүткәргеч технологиясе 3нм һәм 2нм процессларга таба алга киткәч, гранит материаллар, һичшиксез, алыштыргысыз өстенлекләре белән тармак үсешенә көчле этәргеч кертәчәкләр.
Пост вакыты: 14-2025 май