Гранит материаллары ярымүткәргеч индустриясендә бик яхшы характеристика аркасында киң кулланыла, мәсәлән, югары тотрыклылык, түбән җылылык киңәюе һәм коррозиягә югары каршылык. Бу үзенчәлекләр гранитны вафр күчерү системасында югары төгәллек компонентлары төзү өчен идеаль материаллар ясый.
Ярымлы җитештерү процессы буенча, Вафу тапшыру системасы җитештерү процессының төрле этаплары аша ташлауда мөһим роль уйный. Төгәллек һәм төгәллек - бу системаларга мөһим таләпләр, хәтта бераз тайпылышлар бөтен процессны куркыныч астына куярга мөмкин. Шуңа күрә, Вафу тапшыру системасында компонентлар югары сыйфатлы материаллардан булырга тиеш, һәм гранит шул критерийларга туры килә.
Гранит материалларыннан эшләнгән вафр күчерү системасының кайбер өлешләре:
1. Вакуум Чак өстәле
Вакуум Чак өстәле процесс вакытында вафин тоту өчен кулланыла, һәм вафин бозылмас өчен тотрыклы өслек булырга тиеш. Гранит - бу өстәл ясау өчен идеаль материал, чөнки аның зур тотрыклылыгы һәм төгәллек бирүче фатирлы булмаган өслек бар. Өстәвенә, гранит җылылык киңәюенең аз коэффициенты бар, вафудагы үлчәмле үзгәрешләр китерә торган температураның үзгәрүенә каршы.
2. Airава йөртүче этап
Airава йөртү этабы ваферны җитештерү процессының төрле этаплары аша йөртү өчен кулланыла. Сәхнә - сүрелмичә хәрәкәт бирү өчен инженер, ул төгәллек һәм тотрыклылык таләп итә. Гранит бу кушымтада кулланыла, чөнки ул каты һәм каты таш, һәм ул деформалашуга каршы тора һәм вакыт узу белән.
3. Сызыклы хәрәкәт кулланмалары
Сызыклы хәрәкәт чаралары һава йөртү этабына юл күрсәтү өчен кулланыла, һәм алар хаталарны киметү өчен төгәл урнашкан булырга тиеш. Гранит бу кулланмау өчен кулланыла, чөнки аның яхшы механик тотрыклылыгы һәм көче бар. Материал шулай ук коррозия чыдам, бу кулланма системасының озын гомерен тәэмин итә.
4. Метрология җиһазлары
Метрология җиһазлары җитештерү процессындагы үлчәмнәрне һәм үзлекләрен үлчәү өчен кулланыла. Гранит - бу җиһазны төзү өчен идеаль материал, чөнки аның каты каты, түбән киңәю, түбән киңәю, һәм минималь деформация бар. Моннан тыш, гранитның җылылык тотрыклылыгы Митология җиһазларының вакыт узуыннан тыш тотрыклы булып кала.
Ахырда, ярымүткәрватор сәнәгате төгәллек һәм төгәллек турында бәхәсләшә, һәм гранит материаллары җитештерү процессында бик ышанычлы һәм тотрыклы булуын исбатладылар. Вафу күчерү системасында бик күп критик компонентлар белән югары тотрыклылык, төгәллек һәм түбән җылылык киңәюен таләп итүче инженерлар бу критик таләпләргә каршы гранит материалларына әйләнделәр.
Пост вакыты: Март 19-2024