Гранит - төзелеш сәнәгатендә еш кулланыла торган каты һәм чыдам материал. Шулай да, аның ярымүткәргечләр җитештерүдә, аеруча интеграль микросхемалар җитештерүдә һәм эшкәртүдә файдалы итә торган үзенчәлекләре бар. Гранит өстәлләре һәм гранит блоклары кебек гранит компонентлары тотрыклылыгы, яссылыгы һәм түбән җылылык киңәю коэффициенты өчен киң кулланыла.
Ярымүткәргечләр җитештерүдә гранит компонентларының төп кулланылышларының берсе - җитештерү процессында. Интеграль микросхемаларның төп төзелеш блоклары булган кремний пластиналарын югары төгәллек һәм төгәллек белән ясарга кирәк. Процесс барышында теләсә нинди бозылу яки хәрәкәт интеграль микросхемаларның сыйфатына һәм функциональлегенә тәэсир итә торган кимчелекләргә китерергә мөмкин. Гранит өстәлләре, югары тотрыклылыгы һәм яссылыгы белән, пластина эшкәртү җиһазлары өчен яхшы платформа булып тора. Алар шулай ук процесс барышында кирәкле җылыту һәм суыту аркасында килеп чыккан җылылык киңәюенә һәм кысылуына чыдам.
Гранит блоклары шулай ук термик тотрыклылыклары өчен ярымүткәргеч эшкәртүдә кулланыла. Гравюра яки утырту процесслары вакытында кремний пластинасының өслеген үзгәртү өчен кайнар газлар яки плазмалар кулланыла. Процессның нәтиҗәле һәм төгәл башкарылуын тәэмин итү өчен пластинаның температурасын контрольдә тотарга кирәк. Түбән термик киңәю коэффициенты белән гранит блоклары пластинаның температурасын тотрыклыландырырга ярдәм итә, эшкәртелгән материалның сыйфатына тәэсир итә алырлык температура тирбәнешләре куркынычын киметә.
Ясау һәм эшкәртү процессларыннан тыш, гранит компонентлары ярымүткәргечләр җитештерүнең метрология һәм тикшерү этапларында да кулланыла. Метрология үлчәүләре пластинадагы конструкцияләрнең зурлыгы, формасы һәм урнашуы кирәкле спецификацияләргә туры килүен тәэмин итү өчен башкарыла. Гранит блоклары бу үлчәүләрдә эталон буларак кулланыла, чөнки аларның үлчәм тотрыклылыгы һәм төгәллеге бар. Алар шулай ук тикшерү этапларында да кулланыла, анда интеграль микросхемаларның сыйфаты югары зурайту астында тикшерелә.
Гомумән алганда, соңгы елларда ярымүткәргечләр җитештерүдә гранит компонентларын куллану артты. Интеграль микросхемаларны җитештерүдә һәм эшкәртүдә югары төгәллеккә, төгәллеккә һәм тотрыклылыкка ихтыяҗ ярымүткәргечләр җитештерүчеләр тарафыннан бу материалларны куллануга этәргеч бирде. Гранитның үзенчәлекле үзенчәлекләре, мәсәлән, катылыгы, тотрыклылыгы һәм түбән җылылык киңәю коэффициенты, аны бу процессларда куллану өчен бик яхшы сайлау итә. Ярымүткәргечләр технологиясенең даими үсеше һәм камилләшүе белән, гранит компонентларын куллану киләчәктә тагын да артачак дип көтелә.
Бастырылган вакыты: 2023 елның 5 декабре