Ярымүткәргеч җитештерү һәм төгәл үлчәү кораллары кебек өлкәләрдә гранит төгәл платформаларның төгәллеге җиһазның эш сыйфатын турыдан-туры билгели. Платформаның төгәллеге стандартларга туры килүен тәэмин итү өчен, ике аспекттан көч куярга кирәк: төп күрсәткечләрне ачыклау һәм стандарт нормаларны үтәү. ?
Төп күрсәткечне ачыклау: төгәллекне күп үлчәмле контроль
Тигезлекне ачыклау: Белешмә яссылыгының "яссылыгын" билгеләү
Тигезлек - гранит төгәл платформаларның төп күрсәткече, һәм ул гадәттә лазер интерферометрлары яки электрон дәрәҗәләр белән үлчәнә. Лазер интерферометры платформа өслегендәге минутлык сызыкларны төгәл үлчәп, лазер нуры чыгарып һәм яктылык комачаулау принцибын кулланып, суб-микрон дәрәҗәсенә җиткән төгәллек белән үлчәя ала. Электрон дәрәҗә берничә тапкыр хәрәкәт итеп үлчәп, платформа өслегенең өч үлчәмле контур картасын сыза, җирле чыгу яки депрессия барлыгын ачыклау. Мәсәлән, ярымүткәргеч фотолитография машиналарында кулланылган гранит платформалар яссылыгы ± 0,5μm / м булырга тиеш, димәк, 1 метр озынлыктагы биеклек аермасы ярты микрометрдан артмаска тиеш. Бу югары стандартны ачыклау җайланмалары аша гына бу катгый стандартны тәэмин итеп була. ?
2. Туры ачыклау: сызыклы хәрәкәтнең "турылыгын" тәэмин итү
Төгәл хәрәкәтләнүче өлешләрне йөртә торган платформалар өчен турылык бик мөһим. Ачыклауның гомуми ысуллары - чыбык ысулы яки лазер коллиматоры. Чылбыр ысулы югары төгәл корыч чыбыкларны туктатуны һәм турылыкны билгеләү өчен платформа өслеге белән корыч чыбыклар арасындагы аерманы чагыштыруны үз эченә ала. Лазер коллиматоры платформаның юл тимер юлын урнаштыру өслегенең сызыклы хатасын ачыклау өчен лазерның сызыклы таралу үзенчәлекләрен куллана. Әгәр турылык стандартка туры килмәсә, бу хәрәкәт вакытында җиһазның күчүгә китерәчәк, эшкәртү яки үлчәү төгәллегенә тәэсир итә. ?
3. faceир өслегенең тупаслыгын ачыклау: контактның "нечкәлеген" тәэмин итегез
Платформаның өслеге тупаслыгы компонент урнаштыруга тәэсир итә. Гадәттә, ачыклау өчен стилус тупаслыгы яки оптик микроскоп кулланыла. Стилус тибындагы инструмент микроскопик профильнең биеклек үзгәрүләрен платформа өслегенә яхшы зонд белән бәйләп яза. Оптик микроскоплар өслек текстурасын турыдан-туры күзәтә ала. -Гары төгәл кушымталарда, гранит платформаларның өслеге тупаслыгы Ra≤0.05μm белән контрольдә тотылырга тиеш, бу көзгегә охшаган эффектка тиң, монтаж вакытында төгәл компонентларның тыгыз туры килүен тәэмин итә һәм бушлыклар аркасында тибрәнү яки күчүдән саклый. ?
Төгәллек стандартлары иярә: халыкара нормалар һәм предприятиянең эчке контроле
Хәзерге вакытта, халыкара дәрәҗәдә, ISO 25178 һәм GB / T 24632 стандартлары гранит платформаларның төгәллеген билгеләү өчен нигез булып кулланыла, һәм яссылык һәм туры кебек күрсәткечләр өчен ачык классификацияләр бар. Моннан тыш, югары җитештерү предприятияләре еш кына катгый эчке контроль стандартларын куялар. Мәсәлән, фотолитография машинасының гранит платформасына яссылык таләбе халыкара стандартка караганда 30% югарырак. Тест үткәргәндә, үлчәнгән мәгълүматны тиешле стандартлар белән чагыштырырга кирәк. Стандартларга тулысынча туры килгән платформалар гына төгәл җиһазларда тотрыклы эшне тәэмин итә ала. ?
Гранит төгәл платформаларның төгәллеген тикшерү - системалы проект. Тигезлек, турылык, өслек тупаслыгы кебек төп күрсәткечләрне катгый сынап, халыкара һәм предприятия стандартларына буйсынып, ярымүткәргечләр һәм төгәл кораллар кебек югары җитештерү өлкәләренә ныклы нигез салып, платформаның югары төгәллеге һәм ышанычлылыгы гарантияләнә ала.
Пост вакыты: 21-2025 май