Ярымүткәргечләр җитештерү өлкәсендә төгәллек - барысы да. Чип җитештерү технологиясе нанометр дәрәҗәсенә, хәтта нанометр дәрәҗәсенә таба алга барган саен, теләсә нинди кечкенә хата чипның эшләвен киметүгә яки хәтта тулысынча эшләмәүгә китерергә мөмкин. Иң югары төгәллек өчен бу көндәшлектә, үзләренең уникаль физик һәм механик үзенчәлекләре белән гранит төгәл аксессуарлар чип җитештерүнең нанокүләм төгәллеген тәэмин итүдә төп элементка әйләнде.
Күренекле тотрыклылык төгәллек өчен нигез сала
Ярымүткәргеч җитештерү цехындагы мохит катлаулы, һәм тибрәнү һәм температура үзгәрешләре кебек тышкы факторлар җитештерү төгәллегенә даими рәвештә куркыныч тудыра. Гранит төгәл аксессуарлары бик югары тотрыклылыкка ия, чип җитештерү өчен ныклы нигез булып тора. Аның эчке структурасы тыгыз һәм бердәм, йөзләрчә миллион еллар дәвамында геологик процесслар нәтиҗәсендә формалаша, һәм ул табигый югары сүндерү үзенчәлегенә ия. Тышкы тибрәнүләр җитештерү җиһазларына тапшырылганда, гранит төгәл детальләре тибрәнү энергиясенең 80% тан артыгын нәтиҗәле рәвештә сеңдерә һәм киметә ала, тибрәнүләрнең төгәл җиһазларга йогынтысын сизелерлек киметә.
Бу үзенчәлек фотолитография процессында аеруча мөһим. Фотолитография - чипларның дизайн үрнәкләрен кремний пластиналарына күчерүдә мөһим адым, бу фотолитография машинасының эш өстәленең бик югары тотрыклылыгын саклап калуны таләп итә. Гранит төгәл эш өстәле остаханә идәненнән һәм башка җиһазлардан тибрәнү комачаулавын аерып ала, фотолитография машинасының экспозиция процессы вакытында кремний пластинасы һәм фотолитография битлеге арасындагы чагыштырма позиция хатасының нанометр дәрәҗәсендә контрольдә тотылуын тәэмин итә, шуның белән үрнәкнең төгәл күчерелүен гарантияли.
Моннан тыш, гранитның җылылык киңәю коэффициенты бик түбән, гадәттә 5тән 7 × 10⁻⁶/℃ кадәр. Ярымүткәргеч җитештерү процессында җиһазлар эшләве нәтиҗәсендә барлыкка килгән җылылык һәм остаханә мохите температурасының тирбәнешләре материалларның җылылык деформациясенә китерергә мөмкин. Гранит төгәл аксессуарлары температура үзгәрешләренә диярлек тәэсир итми һәм һәрвакыт тотрыклы үлчәмнәрне һәм формаларны саклый ала. Мәсәлән, кисәкләрне эшкәртү процессында температураның кечкенә генә үзгәреше дә эшкәртү җиһазларының төп компонентларының җылылык киңәюенә китерергә мөмкин, бу эшкәртү тирәнлегендә һәм төгәллегендә тайпылышларга китерә. Ләкин, гранит төгәл аксессуарларын терәк һәм йөк күтәрүче компонентлар буларак куллану бу хәлнең барлыкка килүен нәтиҗәле рәвештә булдырмаска, эшкәртү процессының югары төгәллеген һәм тотрыклылыгын тәэмин итәргә мөмкин.
Югары төгәллекле эшкәртү һәм өслек сыйфаты өстенлекләре
Граниттан эшләнгән төгәл детальләрне югары төгәллек белән эшкәртү технологиясе дә чиплар җитештерү төгәллеген тәэмин итүдә мөһим фактор булып тора. Алга киткән ультра төгәл эшкәртү технологиясе ярдәмендә гранит аксессуарларының өслек тигезлеге, турылыгы һәм башка төгәллек күрсәткечләре бик югары дәрәҗәгә җитә ала. Мәсәлән, CNC тарту һәм ялтырату ысулларын кулланып, гранитның өслек тигезсезлеген нанометр дәрәҗәсенә кадәр киметергә мөмкин, бу өслекнең бизәлешен көзге кебек эффектка якынайта.
Чип җитештерү җиһазларында гранит төгәл юнәлеш бирүче рельслар һәм тайпылышлар кебек компонентларның югары төгәллекле өслек сыйфаты хәрәкәт итүче өлешләр арасындагы ышкылуны һәм тузуны сизелерлек киметә ала. Бу җиһазның хәрәкәт тотрыклылыгын һәм төгәллеген генә түгел, ә җиһазның хезмәт итү вакытын да озайта. Мисал итеп чип төрү җиһазларын алыйк. Төгәл гранит юнәлеш бирүче рельслар чипны алганда һәм урнаштырганда төрү башының хәрәкәт траекториясе хатасын микрометр яки хәтта нанометр дәрәҗәсендә контрольдә тотуны тәэмин итә ала, шуның белән чип һәм төрү субстраты арасында төгәл тигезләүгә һәм ышанычлы тоташуга ирешә.
Тузуга каршы һәм озак вакытлы тотрыклылык
Ярымүткәргечләр җитештерү өзлексез һәм озак вакытлы җитештерү процессы булып тора, һәм җиһазлар озак вакыт тотрыклы эшләргә тиеш. Гранитның тузуга чыдамлыгы бик югары, Моос катылыгы 6-7, ул озак вакытлы механик хәрәкәтләргә һәм йөкләнешләргә чыдам. Чип җитештерү җиһазларының көндәлек эшләвендә гранит төгәл детальләре тузуга бирешми һәм һәрвакыт тотрыклы эшләү һәм төгәллекне саклый ала.
Башка материаллар белән чагыштырганда, гранит озак вакыт куллану вакытында арыганлык деформациясен яки эш сыйфатының начарлануын кичерми. Бу гранит төгәл компонентларын кулланучы чип җитештерү җиһазларының озак вакыт кулланудан соң да югары төгәллекне һәм тотрыклылыкны саклый алуын аңлата, җиһазларның төгәллеге кимү сәбәпле продукт җитешсезлекләрен нәтиҗәле рәвештә киметә. Ярымүткәргеч җитештерүчеләр өчен бу җитештерү нәтиҗәлелеген генә түгел, ә җитештерү чыгымнарын да киметә.
Йомгак
Ярымүткәргечләр җитештерүдә нанокүләмле төгәллеккә омтылу юлында гранит төгәл детальләре үзләренең гаҗәеп тотрыклылыгы, югары төгәллекле эшкәртүе һәм озак вакытлы ышанычлылыгы белән алыштыргысыз роль уйный. Фотолитографиядән алып гравюрага кадәр, чип төрүдән алып сынауга кадәр, гранит төгәллек аксессуарлары чип җитештерүдә һәр төп звено аша үтә, чипларны югары төгәллекле җитештерү өчен ныклы гарантия бирә. Ярымүткәргечләр технологиясенең даими үсеше белән төгәллеккә таләпләр тагын да югарырак булачак. Гранит төгәллек детальләре дә бу өлкәдә мөһим роль уйнавын дәвам итәчәк, ярымүткәргечләр сәнәгатенә даими рәвештә яңа биеклекләргә ирешергә ярдәм итәчәк. Хәзер дә, киләчәктә дә гранит төгәллек детальләре ярымүткәргечләр җитештерүдә нанометр дәрәҗәсендәге төгәллекне тәэмин итүче төп көч булачак.
Бастырылган вакыты: 2025 елның 7 мае