Ярымүткәргеч вафер инспекциясе өлкәсендә, чиста бүлмә мохитенең чисталыгы продукт җитештерү белән турыдан-туры бәйле. Чип җитештерү процессларының төгәллеге яхшыра барган саен, ачыклау җиһазларының платформаларына таләпләр көннән-көн катгыйлана бара. Гранит платформалар, нуль металл ион чыгару һәм кисәкчәләрнең аз пычрануы характеристикалары белән, традицион дат басмаган корыч материаллардан артып киттеләр һәм вафер тикшерү җиһазлары өчен өстенлекле чишелешкә әйләнделәр.
Гранит - табигый булмаган таш, нигездә металл булмаган минераллардан тора, мәсәлән, кварц, фельдспар һәм мика. Бу характеристика аңа нуль металл ион чыгару өстенлеген бирә. Киресенчә, тотрыксыз корыч, тимер, хром һәм никель кебек металллар эритмәсе буларак, чиста пар мохитендә су парлары һәм кислоталы яки эшкәртү газлары эрозиясе аркасында электрохимик коррозиягә мохтаҗ, нәтиҗәдә Fe²⁺ һәм Cr³⁺ кебек металл ионнары явым-төшеменә китерә. Бу кечкенә ионнар вафин өслегенә тоташкач, алар ярымүткәргеч материалның электр үзлекләрен фотолитография һәм эфир кебек процессларда үзгәртәчәкләр, транзисторның бусага көчәнешенең тизлегенә китерәләр, хәтта схемада кыска схемаларга китерәләр. Профессиональ учреждение сынау мәгълүматлары шуны күрсәтә: гранит платформасы симуляцияләнгән чиста бүлмә температурасы һәм дымлы мохит (23 ± 0,5 ℃, 45% ± 5% RH) белән 1000 сәгать дәвамында ачыкланганнан соң, металл ионнары чыгару ачыклау лимитыннан түбән иде (<0.1ppb). Дат басмаган корыч платформаларны кулланганда металл ионның пычрануы аркасында ваферларның җитешсезлек дәрәҗәсе 15% - 20% ка кадәр булырга мөмкин.
Кисәкчәләрнең пычрануын контрольдә тоту ягыннан, гранит платформалар да бик яхшы эшли. Чистарту бүлмәләрендә һавада асылынган кисәкчәләр концентрациясе өчен бик югары таләпләр бар. Мәсәлән, ISO 1 класс бүлмәләрендә куб метрга рөхсәт ителгән 0,1μм кисәкчәләр саны 10дан артмый. Дат басмаган корыч платформа полировкалау белән шөгыльләнсә дә, җиһаз тибрәнү һәм кадрлар эше кебек тышкы көчләр аркасында металл калдыклар яки оксид масштабларын кабызырга мөмкин, бу оптик юлны ачыкларга комачаулый яки вафер өслеген сызарга мөмкин. Гранит платформалар, тыгыз минераль структурасы (тыгызлыгы .72.7г / см³) һәм югары катылыгы (Мохс шкаласында 6-7), озак вакыт куллану вакытында тузарга яки өзелергә мөмкин түгел. Asлчелгән үлчәүләр шуны күрсәтә: алар ачыклау җиһазлары һавасында асылынган кисәкчәләр концентрациясен тотрыксыз корыч платформалар белән чагыштырганда 40% тан киметә ала, чистарту бүлмәсе стандартларын эффектив саклый.
Чиста характеристикасына өстәп, гранит платформаларның комплекслы эшләве дәт басмас корычныкыннан күпкә артыграк. Rылылык тотрыклылыгы ягыннан аның җылылык киңәю коэффициенты (4-8) × 10⁻⁶ / is, тотрыксыз корычның яртысыннан кимрәк (якынча 17 × 10⁻⁶ / ℃), бу чиста бүлмәдәге температура үзгәргәндә ачыклау җайланмаларының урнашу төгәллеген яхшырак саклый ала. Highгары дампинг характеристикасы (дампинг коэффициенты> 0,05) җиһазның тибрәнүен тизләтә ала һәм ачыклау зонасының калтыравына юл куймый. Аның табигый коррозиягә каршы торуы аңа фоторезист эреткечләренә, газларны һәм башка химик матдәләргә тәэсир иткәндә дә тотрыклы булырга мөмкинлек бирә, өстәмә каплауны сакламыйча.
Хәзерге вакытта гранит платформалар алдынгы вафер җитештерү заводларында киң кулланыла. Мәгълүматлар шуны күрсәтә: гранит платформасын кабул иткәннән соң, вафин өслеген кисәкчәләрне ачыклауның дөрес булмаган дәрәҗәсе 60% ка кимеде, җиһазларны калибрлау циклы өч тапкыр озайтылды, һәм җитештерүнең гомуми бәясе 25% ка кимеде. Ярымүткәргеч индустриясе югары төгәллеккә таба барганда, гранит платформалар, төп нуль металл ион чыгару һәм аз кисәкчәләрнең пычрануы кебек төп өстенлекләре белән, вафер инспекциясе өчен тотрыклы һәм ышанычлы ярдәм күрсәтүне дәвам итәрләр, тармак үсешенә этәргеч бирүче мөһим көч булырлар.
Пост вакыты: 20-2025 май