Ярымүткәргечләр җитештерү цехында чип җитештерү процессының мохит шартларына һәм җиһазларның төгәллегенә таләпләре бик югары, һәм теләсә нинди кечкенә тайпылыш чип чыгышының сизелерлек кимүенә китерергә мөмкин. XYZT төгәл гантри хәрәкәт платформасы нанокүләмле төгәллеккә ирешү өчен ныклы нигез булдыру максатыннан платформаның башка өлешләре белән хезмәттәшлек итү өчен гранит компонентларына таяна.
Бик яхшы вибрация блоклау үзлекләре
Ярымүткәргеч җитештерү цехында периферик җиһазларның һәм персоналның эшләве тибрәнү китереп чыгарырга мөмкин. Гранит компонентларының эчке структурасы тыгыз һәм бердәм, табигый югары сүндерү үзенчәлекләренә ия, нәтиҗәле тибрәнү "киртәсе" кебек. Тышкы тибрәнү XYZT платформасына тапшырылганда, гранит компоненты тибрәнү энергиясенең 80% тан артыгын нәтиҗәле рәвештә киметә һәм платформа хәрәкәте төгәллегенә тибрәнү комачаулавын киметә ала. Шул ук вакытта, платформа гранит компонентлары белән берлектә эшли торган югары төгәллекле һава йөзүче юнәлеш системасы белән җиһазландырылган. Һава йөзүче юнәлеш платформаның хәрәкәтләнүче өлешләренең контактсыз асылма хәрәкәтен гамәлгә ашыру һәм механик ышкылу аркасында килеп чыккан кечкенә тибрәнүне киметү өчен югары басымлы газ белән формалаштырылган тотрыклы газ пленкасын куллана. Икесе бергәләп, чип литографиясе һәм гравюра ясау кебек төп процессларда платформаны урнаштыру төгәллегенең һәрвакыт нанометр дәрәҗәсендә саклануын тәэмин итә һәм тибрәнү аркасында килеп чыккан чип схемасы үрнәкләренең тайпылышын булдырмый.
Бик яхшы термик тотрыклылык
Остаханәдә температура һәм дымлылык тирбәнешләре чип җитештерү җиһазларының төгәллегенә зур йогынты ясый. Гранитның җылылык киңәю коэффициенты бик түбән, гадәттә 5-7 × 10⁻⁶/℃, температура үзгәргәндә зурлыгы диярлек үзгәрми. Остаханәдә көн һәм төн арасындагы температура аермасы яки җиһазларның җылылык җитештерүе тирә-юнь температурасының үзгәрүенә китерсә дә, гранит компонентлары платформаның җылылык киңәюе һәм кысылуы аркасында деформацияләнүен булдырмас өчен тотрыклы булып кала ала. Шул ук вакытта, платформа белән җиһазландырылган акыллы температураны контрольдә тоту системасы тирә-юнь температурасын реаль вакыт режимында күзәтә, кондиционер һәм җылылык тарату җиһазларын автоматик рәвештә көйли һәм остаханә температурасын 20°C ±1°C дәрәҗәсендә тота. Гранит җылылык тотрыклылыгы өстенлекләре белән берлектә, платформаның озак вакытлы эшләвендә һәр күчәрнең хәрәкәт төгәллеге һәрвакыт чип җитештерү нанометр төгәллеге стандартларына туры килүен тәэмин итү, чип литографиясе үрнәгенең зурлыгының төгәл булуын, гравюра тирәнлегенең бердәм булуын тәэмин итү.
Чиста мохит ихтыяҗларын канәгатьләндерү
Ярымүткәргечләр җитештерү цехы тузан кисәкчәләренең чипны пычратуын булдырмас өчен югары дәрәҗәдәге чисталыкны сакларга тиеш. Гранит материалы үзе тузан чыгармый, һәм өслеге тигез, тузанны сеңдерү җиңел түгел. Платформа, гомумән алганда, тышкы тузан керүен киметү өчен тулысынча ябык яки ярым ябык структура дизайнын куллана. Эчке һава әйләнеше системасы цехның чиста һава кондиционерлау системасы белән бәйләнгән, бу эчке һава чисталыгы чип җитештерү өчен кирәкле дәрәҗәгә җитүен тәэмин итә. Бу чиста мохиттә гранит компонентлары тузан эрозиясе аркасында эшчәнлеккә тәэсир итмәячәк, һәм платформаның югары төгәллекле сенсорлары һәм моторлары кебек төп компонентлары да тотрыклы эшли ала, чип җитештерү өчен өзлексез һәм ышанычлы нанокүләмле төгәллек гарантиясен бирә һәм ярымүткәргечләр сәнәгатенә югарырак процесс дәрәҗәсенә күчәргә ярдәм итә.
Бастырып чыгару вакыты: 2025 елның 14 апреле