Ярымүткәргеч җитештерү цехында чип җитештерү процессының экологик шартларга һәм җиһазларның төгәллегенә таләпләр чиктән тыш зур, һәм теләсә нинди тайпылыш чип җитештерүнең сизелерлек кимүенә китерергә мөмкин. XYZT төгәл кант хәрәкәт платформасы гранит компонентларына таяна, наноскаль төгәллеккә ирешү өчен ныклы нигез салу өчен платформаның башка өлешләре белән хезмәттәшлек итә.
Искиткеч тибрәнү блоклары
Ярымүткәргеч җитештерү цехында периферия җиһазлары һәм йөргән персонал тибрәнүгә китерергә мөмкин. Гранит компонентларының эчке структурасы тыгыз һәм бертөрле, эффектив югары тибрәнү характеристикалары белән, эффектив тибрәнү "барьер" кебек. Тышкы тибрәнү XYZT платформасына җибәрелгәндә, гранит компоненты тибрәнү энергиясенең 80% тан артыгын эффективлаштыра ала һәм платформаның хәрәкәт төгәллегенә тибрәнү комачаулавын киметә ала. Шул ук вакытта, платформа гранит компонентлары белән берлектә эшли торган югары төгәл һава йөзү системасы белән җиһазландырылган. Airава йөзү буенча кулланма платформаның хәрәкәтләнүче өлешләренең контактсыз асылмалы хәрәкәтен тормышка ашыру һәм механик сүрелү аркасында кечкенә тибрәнүне киметү өчен, югары басымлы газ белән формалашкан тотрыклы газ пленкасын куллана. Бергәләп, икесе платформаның урнашу төгәллеген һәрвакыт нанометр дәрәҗәсендә саклыйлар, чип литографиясе һәм эфир кебек төп процессларда, һәм тибрәнү аркасында килеп чыккан чип схемасы тайпылышыннан сакланалар.
Искиткеч җылылык тотрыклылыгы
Семинардагы температураның һәм дымның үзгәрүе чип җитештерү җиһазларының төгәллегенә зур йогынты ясый. Гранитның җылылык киңәйтү коэффициенты бик түбән, гадәттә 5-7 × 10⁻⁶ / in, температура үзгәргәндә зурлыгы үзгәрми диярлек. Остаханәдә көн белән төн арасындагы температура аермасы яки җиһазның җылылык җитештерүе әйләнә-тирә температураның үзгәрүенә китерсә дә, гранит компонентлары җылылык киңәюе һәм кысылуы аркасында платформаның деформациясен булдырмас өчен тотрыклы булып кала ала. Шул ук вакытта, платформа белән җиһазландырылган интеллектуаль температура белән идарә итү системасы әйләнә-тирә температураны реаль вакытта күзәтә, кондиционерны һәм җылылык тарату җайланмаларын автоматик рәвештә көйли, һәм цех температурасын 20 ° C ± 1 ° C саклый, гранит җылылык тотрыклылыгы өстенлекләре белән берлектә, платформаның озак вакытлы эшләве, һәр күчәрнең хәрәкәт төгәллеге чип җитештерү нанометры төгәл чип стандартларына туры килүен тәэмин итү өчен.
Чиста мохит ихтыяҗларын канәгатьләндерегез
Ярымүткәргеч җитештерү цехы тузан кисәкчәләренең чипны пычратмас өчен югары чисталык дәрәҗәсен сакларга тиеш. Гранит материал үзе тузан чыгармый, һәм өслеге шома, тузанны сеңдерү җиңел түгел. Платформа тулаем ябык яки ярым ябык структура дизайнын кабул итә, тышкы тузан керүне киметү өчен. Эчке һава әйләнеше системасы остаханәнең чиста кондиционер системасы белән бәйләнгән, эчке һава чисталыгы чип җитештерү таләп иткән дәрәҗәгә җитсен өчен. Бу чиста мохиттә гранит компонентлары тузан эрозиясе аркасында эшкә тәэсир итмәячәк, һәм югары төгәл сенсорлар һәм платформаның двигательләре кебек төп компонентлар да тотрыклы эшли ала, чип җитештерү өчен өзлексез һәм ышанычлы наноскаль төгәллек гарантиясе бирә, һәм ярымүткәргеч индустриясенә югары процесс дәрәҗәсенә күтәрелергә ярдәм итә.
Пост вакыты: 14-2025 апрель