Ярымүткәргеч җитештерүдә фотолитография машинасы - чипларның төгәллеген билгеләүче төп җайланма, һәм гранит базасы, күп характеристикалары белән, фотолитография машинасының алыштыргысыз компонентына әверелде.
Rылылык тотрыклылыгы: Температура үзгәрүенә каршы "Калкан"
Фотолитография машинасы эшләгәндә, ул күп күләмдә җылылык китерә. Хәтта 0,1 of температураның үзгәрүе дә җиһаз компонентларының деформациясенә китерергә һәм фотолитография төгәллегенә тәэсир итәргә мөмкин. Гранитның җылылык киңәю коэффициенты бик түбән, бары тик 4-8 × 10⁻⁶ / only, бу корычның якынча 1/3 һәм алюминий эретмәсе 1/5. Бу гранит базасына фотолитография машинасы озак эшләгәндә яки экологик температура үзгәргәндә, оптик компонентларның һәм механик корылмаларның төгәл урнашуын тәэмин иткәндә, үлчәм тотрыклылыгын сакларга мөмкинлек бирә.
Супер тибрәнүгә каршы эш: тибрәнүне үзләштерүче "губка"
Ярымүткәргеч заводында әйләнә-тирә җиһазларның эшләве һәм кешеләрнең хәрәкәте барысы да тибрәнүләр тудырырга мөмкин. Гранит югары тыгызлыкка һәм каты текстурага ия, һәм аның искиткеч дампинг үзенчәлекләре бар, сүндерү коэффициенты металлдан 2-5 тапкыр. Тышкы тибрәнүләр гранит нигезенә күчерелгәндә, эчке минераль кристаллар арасындагы сүрелү тибрәнү энергиясен тарату өчен җылылык энергиясенә әйләндерә, бу кыска вакыт эчендә тибрәнүне сизелерлек киметә ала, фотолитография машинасына тотрыклылыкны тиз торгызырга һәм тибрәнү аркасында фотолитография үрнәгенең төссезләнүенә яки туры килмәвенә юл куя.
Химик тотрыклылык: Чиста мохитнең "Саклаучысы"
Фотолитография машинасының эчке өлеше төрле химик медиа белән контактка керә, һәм гади металл материаллар коррозиягә яки кисәкчәләр чыгаруга мохтаҗ. Гранит кварц һәм кыр кыры кебек минераллардан тора. Аның тотрыклы химик үзлекләре һәм коррозиягә каршы торуы бар. Кислота һәм эшкәртү эремәләренә батканнан соң, коррозия бик кечкенә. Шул ук вакытта аның тыгыз структурасы чүп-чар, тузан барлыкка китерми диярлек, иң югары чистарту стандартлары таләпләренә туры килә һәм вафер пычрану куркынычын киметә.
Адаптацияне эшкәртү: төгәл күрсәткечләр булдыру өчен "идеаль материал"
Фотолитография машинасының төп компонентлары югары төгәл белешмә өслектә урнаштырылырга тиеш. Гранитның эчке структурасы бертөрле һәм тарту, бизәү һәм башка техника ярдәмендә бик югары төгәллектә эшкәртү җиңел. Аның яссылыгы ≤0.5μm / м җитә ала, һәм Ra өслегенең тупаслыгы ≤0.05μm, оптик линза кебек компонентлар өчен төгәл урнаштыру нигезен бирә.
Озын гомер һәм хезмәт күрсәтүсез: чыгымнарны киметү өчен "үткен кораллар"
Озак вакыт куллануда арыган һәм ярылырга мөмкин булган металл материаллар белән чагыштырганда, гранит пластик деформацияне яки гадәти йөк астында сынуны кичерә алмый, һәм ул өстән эшкәртүне таләп итми, шулай итеп каплау кабыгы һәм пычрану куркынычыннан саклый. Практик кулланмаларда, озак еллар кулланылганнан соң, гранит базаның төп эш күрсәткечләре тотрыклы булып кала, җиһазның эксплуатациясен һәм хезмәт күрсәтү чыгымнарын киметә.
Rылылык тотрыклылыгыннан, химик инерциягә тибрәнүгә каршы торудан, гранит базаның күп характеристикалары фотолитография машинасы таләпләренә бик туры килә. Чип җитештерү процессы югары төгәллеккә таба үсә барган саен, гранит нигезләре ярымүткәргеч җитештерү өлкәсендә алыштыргысыз роль уйныйчак.
Пост вакыты: 20-2025 май