Ярымүткәргечләр җитештерүдә фотолитография машинасы чипларның төгәллеген билгеләүче төп җайланма булып тора, ә гранит нигезе, күп төрле үзенчәлекләре белән, фотолитография машинасының алыштыргысыз компонентына әйләнде.
Термик тотрыклылык: температура үзгәрешләреннән "калкан"
Фотолитография машинасы эшләгәндә, ул күп күләмдә җылылык чыгара. Хәтта температураның нибары 0,1°C тирбәлүе дә җиһаз компонентларының деформациясенә китерергә һәм фотолитография төгәллегенә тәэсир итәргә мөмкин. Гранитның җылылык киңәю коэффициенты бик түбән, нибары 4-8 × 10⁻⁶/℃, бу якынча корычның 1/3 өлешенә һәм алюминий эретмәсенең 1/5 өлешенә тигез. Бу гранит нигезенә фотолитография машинасы озак эшләгәндә яки әйләнә-тирә мохит температурасы үзгәргәндә үлчәм тотрыклылыгын сакларга мөмкинлек бирә, оптик компонентларның һәм механик конструкцияләрнең төгәл урнашуын тәэмин итә.
Вибрациягә каршы супер сыйфат: Вибрацияне йота торган "губка"
Ярымүткәргеч заводында тирә-юньдәге җиһазларның эшләве һәм кешеләрнең хәрәкәте барысы да тибрәнүләр китереп чыгарырга мөмкин. Гранит югары тыгызлыкка һәм каты текстурага ия, һәм ул бик яхшы сүндерү үзлекләренә ия, сүндерү коэффициенты металлларныкыннан 2-5 тапкыр артыграк. Тышкы тибрәнүләр гранит нигезенә тапшырылганда, эчке минераль кристаллар арасындагы ышкылу тибрәнү энергиясен тарату өчен җылылык энергиясенә әйләндерә, бу кыска вакыт эчендә тибрәнүне сизелерлек киметә ала, фотолитография машинасына тиз арада тотрыклылыкны торгызырга һәм тибрәнү аркасында фотолитография рәсеменең тоныклануын яки тигезләнмәвен булдырмаска мөмкинлек бирә.
Химик тотрыклылык: чиста мохитнең "сакчысы"
Фотолитография машинасының эчке өлеше төрле химик мохитләр белән бәйләнешкә керә, һәм гади металл материаллар коррозиягә яки кисәкчәләр бүленеп чыгуга бирешүчән. Гранит кварц һәм дала шпаты кебек минераллардан тора. Аның тотрыклы химик үзлекләре һәм көчле коррозиягә чыдамлыгы бар. Кислота һәм селте эремәләрендә чыланганнан соң, өслек коррозиясе бик аз була. Шул ук вакытта аның тыгыз структурасы чүп-чар яки тузан тудырмый диярлек, бу иң югары чиста бүлмә стандартлары таләпләренә туры килә һәм пластина пычрану куркынычын киметә.
Эшкәртүгә җайлашучанлык: төгәл эталоннар булдыру өчен "идеаль материал"
Фотолитография машинасының төп компонентларын югары төгәллекле эталон өслеккә урнаштырырга кирәк. Гранитның эчке структурасы бердәм һәм аны тарту, ялтырату һәм башка ысуллар ярдәмендә бик югары төгәллеккә кадәр эшкәртү җиңел. Аның яссылыгы ≤0,5 мкм/м га җитә ала, ә өслекнең тигезсезлеге Ra ≤0,05 мкм, бу оптик линзалар кебек компонентлар өчен төгәл урнаштыру нигезен тәэмин итә.
Озак хезмәт итү һәм хезмәт күрсәтүне таләп итмәү: чыгымнарны киметү өчен "үткәргеч кораллар"
Озак вакыт куллану вакытында арыганлыкка һәм ярылуга бирешүчән металл материаллар белән чагыштырганда, гранит гадәти йөкләнешләр астында пластик деформациягә яки ватылуга бик сирәк дучар була, һәм өслек эшкәртүне таләп итми, шуның белән каплауның кабыну һәм пычрану куркынычыннан котыла. Гамәли кулланылышта, күп еллар кулланылганнан соң, гранит нигезенең төп эш күрсәткечләре тотрыклы булып кала ала, бу җиһазларны эксплуатацияләү һәм хезмәт күрсәтү чыгымнарын киметә.
Термик тотрыклылыктан алып тибрәнүгә чыдамлылыктан алып химик инерциягә кадәр, гранит нигезенең күп төрле үзенчәлекләре фотолитография машинасы таләпләренә тулысынча туры килә. Чип җитештерү процессы югарырак төгәллеккә таба үсеш алган саен, гранит нигезләре ярымүткәргечләр җитештерү өлкәсендә алыштыргысыз роль уйнавын дәвам итәчәк.
Бастырып чыгару вакыты: 2025 елның 20 мае