?
Ярымүткәргеч җитештерү өлкәсендә, чип җитештерү процессының төгәллеген билгеләүче төп җиһаз буларак, фотолитография машинасының эчке мохитенең тотрыклылыгы бик мөһим. Экстремаль ультрафиолет нур чыганагыннан дулкынланудан алып, наноскаль төгәл хәрәкәт платформасы эшенә кадәр, һәр сылтамада бераз тайпылу була алмый. Гранит нигезләре, уникаль үзенчәлекләр сериясе белән, фотолитография машиналарының тотрыклы эшләвен тәэмин итүдә һәм фотолитография төгәллеген арттыруда чагыштыргысыз өстенлекләрне күрсәтәләр. ?
Күренекле электромагнит калкан эше
Фотолитография машинасының эчке өлеше катлаулы электромагнит мохите белән тутырылган. Электромагнит интерфейсы (EMI) экстремаль ультрафиолет яктылык чыганаклары, двигательләр һәм югары ешлыктагы электр тәэминаты кебек компонентлар белән тудырылган, эффектив контрольдә тотылмаса, җиһаз эчендә төгәл электрон компонентлар һәм оптик системаларның эшенә җитди йогынты ясар. Мәсәлән, комачаулау фотолитография формаларында бераз тайпылышларга китерергә мөмкин. Алга киткән җитештерү процессларында бу чиптагы дөрес булмаган транзистор тоташуларына китерү өчен җитәрлек, чип җитештерүчәнлеген сизелерлек киметә. ?
Гранит - металл булмаган материал һәм үзе электр үткәрми. Металл материаллардагы кебек ирекле электроннарның хәрәкәте аркасында килеп чыккан электромагнит индукция күренеше юк. Бу характеристика аны табигый электромагнит саклаучы органга әйләндерә, ул эчке электромагнит интерфейсының тапшыру юлын эффектив блоклый ала. Тышкы электромагнит интерфейс чыганагы барлыкка килгән магнит кыры гранит базасына таралгач, гранит магнит булмаганга һәм магнитлаштырыла алмаганга, алмаш магнит кырына үтеп керү авыр, шуның белән базага куелган фотолитография машинасының төп компонентларын, мәсәлән, төгәл сенсорлар һәм оптик линзаны көйләү җайланмалары, электромагнит интерфейсының тәэсиреннән. ?
Искиткеч вакуум ярашуы
Чиктән тыш ультрафиолет нуры (EUV) барлык матдәләр, шул исәптән һава белән җиңел үзләштерелү сәбәпле, EUV литография машиналары вакуум мохитендә эшләргә тиеш. Бу вакытта җиһаз компонентларының вакуум мохите белән туры килүе аеруча мөһим. Вакуумда материаллар газны эретергә, дезорблаштырырга һәм чыгарырга мөмкин. Чыгарылган газ EUV нурын сеңдереп кенә калмый, яктылыкның интенсивлыгын һәм тапшыру эффективлыгын киметә, шулай ук оптик линзаларны пычратырга мөмкин. Мәсәлән, су парлары линзаларны оксидлаштыра ала, һәм углеводородлар линзаларга углерод катламнарын куя ала, литография сыйфатына җитди йогынты ясый. ?
Гранит тотрыклы химик үзлекләргә ия һәм вакуум мохитендә газны чыгармый. Профессиональ тестлар буенча, симуляцияләнгән фотолитография машинасында вакуум мохитендә (мәсәлән, яктырту оптик системасы һәм төп палатада оптик система урнашкан ультра чиста вакуум мохите, H₂O <10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ <10⁻⁷ Pa) таләп ителә, гранит базаның чыгу дәрәҗәсе металл кебек башка материаллардан күпкә түбән. Бу фотолитография машинасының эчке ягына озак вакыт югары вакуум дәрәҗәсен һәм чисталыкны сакларга мөмкинлек бирә, тапшыру вакытында EUV яктылыгының югары үткәрелүен һәм оптик линзалар өчен чиктән тыш чиста куллану мохитен, оптик системаның хезмәт срогын озайту һәм фотолитография машинасының гомуми эшчәнлеген арттыру мөмкинлеге бирә. ?
Көчле тибрәнүгә каршы тору һәм җылылык тотрыклылыгы
Фотолитография процессында нанометр дәрәҗәсендәге төгәллек фотолитография машинасында бераз тибрәнү яки җылылык деформациясе булырга тиеш түгел. Семинарда башка җиһазлар һәм персонал хәрәкәте аркасында барлыкка килгән экологик тибрәнүләр, шулай ук фотолитография машинасы эшләгән вакытта җитештерелгән җылылык, болар барысы да фотолитография төгәллегенә комачаулый ала. Гранитның югары тыгызлыгы һәм каты текстурасы бар, һәм ул искиткеч тибрәнүгә каршы тора. Аның эчке минераль кристалл структурасы компакт, ул тибрәнү энергиясен эффективлаштыра һәм тибрәнү таралышын тиз баса ала. Эксперименталь мәгълүматлар шуны күрсәтә: шул ук тибрәнү чыганагы астында гранит база тибрәнү амплитудасын 0,5 секунд эчендә 90% тан киметергә мөмкин. Металл база белән чагыштырганда, ул җиһазны тизрәк тотрыклылыкка кайтарырга, фотолитографик линза белән вафер арасында төгәл чагыштырма торышны тәэмин итә ала, һәм тибрәнү аркасында килеп чыккан үрнәкнең бозылуыннан яки тигезләшүдән саклый. ?
Шул ук вакытта, гранитның җылылык киңәю коэффициенты бик түбән, якынча (4-8) × 10⁻⁶ / ℃, бу металл материаллардан күпкә түбән. Фотолитография машинасы эшләгәндә, яктылык чыганагыннан җылылык чыгару һәм механик компонентлардан сүрелү кебек факторлар аркасында эчке температура үзгәрсә дә, гранит базасы үлчәм тотрыклылыгын саклый ала һәм җылылык киңәюе һәм кысылуы аркасында зур деформация кичермәячәк. Ул оптик система һәм төгәл хәрәкәт платформасы өчен тотрыклы һәм ышанычлы ярдәм күрсәтә, фотолитография төгәллеген саклый.
Пост вакыты: 20-2025 май