Югары дәрәҗәдәге җитештерү һәм алдынгы фәнни тикшеренүләр өлкәсендә һава йөзгеченең ультра төгәл хәрәкәт модуле үзенең югары төгәллек күрсәткечләре белән нечкә эшләү һәм үлчәү өчен төп җиһазга әйләнде. Гранит төгәл нигез, терәк үзәге буларак, эш мохите өчен катгый таләпләр куя, һәм яраклы мохит шартлары аның тотрыклы эшләвен һәм иң яхшы нәтиҗә бирүен тәэмин итү өчен нигез булып тора.
Беренчедән, температураны контрольдә тоту: төгәл "стабилизатор"
Гранит үзенең тотрыклылыгы белән билгеле булса да, температура үзгәрешләренә тулысынча бирешми. Аның җылылык киңәю коэффициенты түбән булса да, гадәттә 5-7 × 10⁻⁶/℃, ультра төгәл хәрәкәт контроле сценарийларында температураның нечкә тирбәнешләре үлчәм үзгәрешләренә китерергә һәм модуль төгәллегенә тәэсир итәргә мөмкин. Ярымүткәргеч чип җитештерү цехында литография процессы данами дәрәҗәсендәге позицияләү төгәллеген таләп итә, һәм әйләнә-тирә мохит температурасы 1°C га тирбәнә, ә ян озынлыгы 1 метр булган гранит нигезе 5-7 микрон сызыклы киңәю яки кыскару тудырырга мөмкин. Бу кечкенә үзгәреш һава йөзгечнең ультра төгәл хәрәкәт модуле аша тапшырыла, бу чип литографиясе үрнәгенең тайпылышын булдырырга һәм уңышны шактый киметергә җитә. Шуңа күрә, һавада йөзүче ультра-төгәл хәрәкәт модуленең гранит төгәл нигезе белән җиһазландырылган, идеаль эш мохите температурасын 20°C ±1°C дәрәҗәсендә контрольдә тотарга кирәк, югары төгәллекле даими температура җиһазлары, мәсәлән, даими температура һәм дымлылык кондиционер системасы ярдәмендә, әйләнә-тирә мохит температурасын даими күзәтеп һәм көйләп торырга кирәк, температура тирбәнешләренең бик кечкенә диапазонда булуын тәэмин итү, нигез зурлыгының тотрыклылыгын саклау һәм модульнең югары төгәллекле эшләвен тәэмин итү өчен.
Икенчедән, дымлылыкны контрольдә тоту: дымга чыдам саклау "ташының" ачкычы
Дымлылык - гранит нигезенең төгәллегенә тәэсир итүче тагын бер мөһим фактор. Югары дымлы мохиттә гранит су парын җиңел сеңдерә, бу өслектә конденсациягә китерергә мөмкин, бу гранитның һәм һава йөзгечнең ультра төгәл хәрәкәт модуленең тоташу тотрыклылыгына гына түгел, ә шулай ук өслек эрозиясенә китерергә һәм озак вакытлы перспективада ялтыравыклылыкны һәм төгәллекне киметергә мөмкин. Оптик линзаларны тарту остаханәсендә, әгәр дымлылык озак вакыт дәвамында 60% рН югарырак булса, гранит нигезе өслегенә сеңгән су пары газ йөзгеч тайгак хәрәкәтенә комачаулый, шуның белән линзаларны тарту төгәллеге кими, һәм өслек кимчелекле була. Шуңа күрә эш мохитенең чагыштырма дымлылыгы 40%-60% рН арасында катгый контрольдә тотылырга тиеш, аны реаль вакыт режимында дымны киметкечләр, дымлылык сенсорлары һәм башка җиһазлар урнаштыру ярдәмендә күзәтеп һәм көйләп була, югары дымлылык аркасында гранит нигезенә зыян килмәсен өчен, һәм һава йөзгечнең ультра төгәл хәрәкәт модуленең шома эшләвен тәэмин итү өчен.
Өченчедән, чисталык гарантиясе: төгәллек "сакчысы"
Һава флотациясенең ультра төгәл хәрәкәт модуленең төгәл гранит нигезенә тузан кисәкчәләренең зыянын киметергә ярамый. Кечкенә кисәкчәләр газ пленкасы белән гранит нигез арасындагы газ пленкасы аралыгына кергәч, алар газ пленкасының тигезлеген бозарга, ышкылуны арттырырга һәм хәтта нигез өслеген тырнап алырга мөмкин, нәтиҗәдә хәрәкәт төгәллеге кими. Аэрокосмик детальләрнең ультра төгәл эшкәртү остаханәсендә, һавадагы тузан кисәкчәләре гранит нигезенә төшсә, эшкәртү коралының хәрәкәт траекториясе тайпылырга мөмкин, бу детальләрнең эшкәртү төгәллегенә тәэсир итә. Шуңа күрә эш мәйданы югары дәрәҗәдә чиста булырга, 10,000 яки аннан да югарырак чисталык стандартларына ирешергә тиеш, югары нәтиҗәле һава фильтрлары (HEPA) кебек һава чистарту җиһазларын урнаштыру аша һавадагы тузан кисәкчәләрен фильтрларга, шул ук вакытта хезмәткәрләргә кешеләр китергән тузанны киметү өчен тузансыз кием, аяк киеме тышлыклары һ.б. кияргә кирәк. Гранит нигезенең һәм һава флотациясенең ультра төгәл хәрәкәт модуленең югары төгәллекле эш мохитен сакларга кирәк.
Дүртенчедән, вибрация изоляциясе: "амортизатор"ның шома эшләве
Тышкы тибрәнү - һава йөзгеченең ультра төгәл хәрәкәт модуленең төгәллегенең дошманы. Төгәл гранит нигезе билгеле бер тибрәнүне киметү сәләтенә ия булса да, югары көчле тибрәнү аның буфер чиген бозарга мөмкин. Завод тирәсендәге хәрәкәт һәм зур механик җиһазлар эшләве нәтиҗәсендә барлыкка килгән тибрәнү җир аша гранит нигезенә тапшырыла, бу һава йөзгеченең ультра төгәл хәрәкәт модуленең хәрәкәт төгәллегенә комачаулый. Югары дәрәҗәдәге CMMда тибрәнү үлчәү зондының һәм үлчәнәчәк эш кисәге арасындагы контактның тотрыксыз булуына китерергә мөмкин, бу үлчәү мәгълүматларының тайпылышына китерә. Бу проблеманы хәл итү өчен, җиһазларны урнаштыру мәйданчыгында тибрәнү изоляциясе мәйданчыклары кую, тибрәнү изоляциясе нигезен төзү яки тышкы тибрәнүне актив рәвештә компенсацияләү өчен актив тибрәнү изоляциясе системасын куллану кебек нәтиҗәле тибрәнү изоляциясе чараларын кабул итү кирәк, һәм гранит төгәл нигезе һәм һава йөзгеченең ультра төгәл хәрәкәт модуле өчен тыныч һәм тотрыклы эш мохите булдыру.
Температура, дымлылык, чисталык һәм тибрәнү контроле кебек экологик таләпләрне тулысынча канәгатьләндерү аша гына, һава йөзгеченең ультра төгәл хәрәкәт модуленең гранит төгәл нигезе аның эшләү өстенлекләрен тулысынча куллана ала, төрле өлкәләрдә ультра төгәл операцияләр өчен ышанычлы гарантия бирә һәм сәнәгатьнең югарырак төгәллекле җитештерү һәм фәнни тикшеренү дәрәҗәсенә күчүенә ярдәм итә ала.
Бастырып чыгару вакыты: 2025 елның 8 апреле