Endгары җитештерү һәм заманча фәнни тикшеренүләр өлкәсендә, һава йөзүенең ультра төгәл хәрәкәт модуле яхшы эш башкару һәм үлчәү өчен төп җиһазга әйләнде. Гранит төгәллек базасы, таяныч үзәге буларак, эш шартларына катгый таләпләр куя, һәм әйләнә-тирә мохит шартлары аның тотрыклы эшләвен һәм иң яхшы эффектын тәэмин итү өчен нигез булып тора.
Беренчедән, температураны контрольдә тоту: төгәл "стабилизатор"
Гранит тотрыклылыгы белән билгеле булса да, температураның үзгәрүенә ул тулысынча иммунитетлы түгел. Rылылык киңәю коэффициенты түбән булса да, гадәттә 5-7 × 10⁻⁶ / ultra, ультра төгәл хәрәкәтне контрольдә тоту сценарийларында, нечкә температураның үзгәрүе һаман да үлчәм үзгәрүләренә китерергә һәм модуль төгәллегенә тәэсир итәргә мөмкин. Ярымүткәргеч чип җитештерү цехында литография процессы данами дәрәҗәсендә урнашу төгәллеген таләп итә, һәм әйләнә-тирә температура 1 ° C ка үзгәрә, һәм озынлыгы 1 метр булган гранит базасы сызыклы киңәю яки кысылу 5-7 микрон булырга мөмкин. Бу кечкенә үзгәреш һава йөзүенең ультра-төгәл хәрәкәт модуле белән бирелә, бу чип литография үрнәген читкә тайпылу һәм уңышны киметү өчен җитәрлек. Шуңа күрә, ультра-төгәл хәрәкәт модулының гранит төгәл базасы белән җиһазландырылган, идеаль эш мохите температурасы 20 ° C ± 1 ° C белән контрольдә тотылырга тиеш, даими температура һәм дымлы кондиционер системасы кебек югары төгәл даими температура җиһазлары ярдәмендә, тирә температураның өзлексез мониторингы һәм көйләнеше, төп модульнең тотрыклылыгын тәэмин итү өчен.
Икенчедән, дым белән идарә итү: дымнан саклаучы "таш" ачкычы
Дымлылык - төгәл гранит базасы эшенә тәэсир итүче тагын бер мөһим фактор. Humгары дымлы шартларда гранит су парларын сеңдерү җиңел, бу өслектә конденсациягә китерергә мөмкин, бу гранитның тоташу тотрыклылыгына һәм һава йөзүенең ультра төгәл хәрәкәт модулына тәэсир итми, шулай ук өслек эрозиясенә китерә һәм ялтыравыкны һәм төгәллекне киметә ала. Оптик линзаны тарту цехында, дым озак вакыт 60% RH-тан югарырак булса, гранит база өслегендә урнашкан су парлары газ йөзүче слайдер хәрәкәтенә комачаулый, шулай итеп линзаларның тарту төгәллеге кими, һәм өслеге кимчелекле. Шуңа күрә, эш мохитенең чагыштырмача дымлылыгы 40% -60% RH арасында катгый контрольдә тотылырга тиеш, моны мониторинг һәм реаль вакытта дегмидификатор, дым сенсорлары һәм башка җиһазлар куеп, югары дымлылык аркасында гранит базасына зыян китермәс өчен, һава йөзүенең ультра төгәл хәрәкәт модулының тотрыклы эшләвен тәэмин итәргә мөмкин.
Өченчедән, чисталык гарантиясе: төгәллекне "саклаучы"
Тузан кисәкчәләренең һава флотациясенең ультра төгәл хәрәкәт модулының төгәл гранит нигезенә китергән зыянын бәяләп булмый. Кечкенә кисәкчәләр газ йөзүче слайдер белән гранит базасы арасындагы газ пленкасына кергәч, алар газ пленкасының бердәмлеген җимерергә, сүрелүчәнлекне арттырырга һәм хәтта нигез өслеген сызарга мөмкин, нәтиҗәдә хәрәкәт төгәллеге кими. Аэрокосмик өлешләрнең ультра төгәл эшкәртү цехында, һавадагы тузан кисәкчәләре гранит нигезенә төшсә, эшкәртү коралының хәрәкәт траекториясе читкә тайпылырга мөмкин, бу өлешләрнең эшкәртү төгәллегенә тәэсир итә. Шуңа күрә, эш мәйданы бик чиста булырга тиеш, 10 000 яки хәтта югарырак чисталык стандартларына кадәр, югары эффектив һава фильтрлары (HEPA) кебек һаваны чистарту җайланмалары урнаштыру, һавада тузан кисәкчәләрен фильтрлау, шул ук вакытта хезмәткәрләргә кешеләр китергән тузанны киметү өчен, тузансыз кием, аяк киеме каплау һ.б. Гранит базаның югары төгәл эш мохитен һәм һавада йөзүче ультра төгәл хәрәкәт модулын саклагыз.
Дүрт, тибрәнү изоляциясе: "шок тактасының" шома эшләве.
Тышкы тибрәнү - һава йөзүенең ультра төгәл хәрәкәт модулының төгәллеге дошманы. Төгәл гранит базасы билгеле бер тибрәнү көченә ия булса да, югары көчле тибрәнү буфер чикләрен бозырга мөмкин. Завод тирәсендәге хәрәкәт аркасында барлыкка килгән тибрәнү һәм зур механик җиһазлар эшләве гранит базага җир аша бирелә, бу һава йөзүенең ультра төгәл хәрәкәт модулының хәрәкәт төгәллегенә комачаулый. Endгары дәрәҗәдәге CMMда тибрәнү үлчәү зонасы белән эш кисәге арасындагы контактның тотрыксыз булуына китерергә мөмкин, нәтиҗәдә үлчәү мәгълүматларының читкә тайпылуы. Бу проблеманы чишү өчен, тибрәнү изоляциясе чараларын кулланырга кирәк, мәсәлән, җиһаз урнаштыру өлкәсенә тибрәнү изоляциясе салу, тибрәнү изоляциясе нигезен төзү, яки тышкы тибрәнүне актив рәвештә каплау өчен актив тибрәнү изоляциясе системасын куллану, һәм гранит төгәллек базасы һәм һава йөзү ультра-төгәл хәрәкәт модуле өчен тыныч һәм тотрыклы эш шартлары булдыру.
Температура, дым, чисталык һәм тибрәнү контроле экологик таләпләрен тулысынча канәгатьләндереп кенә, һава йөзүенең ультра төгәл хәрәкәт модулының гранит төгәллеге аның эш өстенлекләрен тулысынча уйный ала, төрле өлкәләрдә ультра төгәллек операцияләренә ышанычлы гарантия бирә, һәм тармакка югары төгәл җитештерү һәм фәнни тикшеренү дәрәҗәсенә таба барырга булыша ала.
Пост вакыты: апрель-08-2025