Төгәл җитештерү һәм фәнни тикшеренүләр өлкәсендә гранит төгәл платформаларның яссылыгы җиһазларның төгәллеген тәэмин итү өчен төп күрсәткеч булып тора. Түбәндә төп агымны ачыклау ысуллары һәм сезнең өчен эш процедуралары турында җентекле кереш сүз бар. ?
I. Лазер интерферометрын ачыклау ысулы
Лазер интерферометры - югары төгәллекне ачыклау өчен өстенлекле корал. Мисал итеп ZYGO GPI XP лазер интерферометрын алыгыз, аның резолюциясе 0,1нмга җитә ала. Ачыклау үткәргәндә, башта интерферометрның яктылык чыганагын платформа белән тигезләгез һәм платформа өслеген 50 мм × 50 мм челтәр өлкәләренә бүлегез. Соңыннан, комачаулык кыры мәгълүматлары бер-бер артлы тупланды, һәм яссылык хатасын алу өчен Zernike полиномиалы ярдәмендә мәгълүматлар урнаштырылды һәм анализланды. Бу ысул югары төгәл платформаларда кулланыла һәм flat0.5μm / m² яссылык хаталарын ачыклый ала. Бу гадәттә фотолитография машиналарын һәм югары дәрәҗәдәге өч координаталы үлчәү платформаларын ачыклауда кулланыла. ?
Ii. Электрон дәрәҗә аррей ысулы
Электрон дәрәҗәдәге массивны ачыклау гади һәм югары эффектив. TESA A2 электрон дәрәҗәсе (0.01μm / м резолюциясе белән) сайланды һәм платформаның X / Y күчәре юнәлешендә 9 × 9 массивда урнаштырылды. Синхрон рәвештә һәр дәрәҗәдәге омтылыш мәгълүматларын җыеп, аннары исәпләү өчен иң кечкенә квадрат ысул кулланып, яссылык бәясен төгәл алырга мөмкин. Бу ысул платформаның җирле конвекциясен һәм конвекция шартларын эффектив билгели ала. Мәсәлән, 50 мм диапазонында 0,2μм үзгәрүчәнлекне дә ачыкларга мөмкин, бу массакүләм җитештерүдә тиз табу өчен яраклы. ?
Iii. Оптик яссы кристалл ысулы
Оптик яссы кристалл ысулы кечкенә мәйдан платформаларын ачыклау өчен яраклы. Платформада сынап карау өчен оптик яссы кристаллны өскә нык бәйләгез һәм монохроматик яктылык чыганагы (натрий лампасы кебек) яктыртылганда алар арасында барлыкка килгән комачаулык чикләрен күзәтегез. Әгәр дә полосалар параллель туры полосалар булса, бу яхшы яссылыкны күрсәтә. Әгәр дә кәкре сызыклар барлыкка килсә, полосаның иярү дәрәҗәсенә карап яссылык хатасын исәпләгез. Eachәрбер кәкре полоса 0,316μм биеклек аермасын күрсәтә, һәм яссылык турында мәгълүматны гади конверсия ярдәмендә алырга мөмкин. ?
Дүрт. Өч координаталы үлчәү машинасын тикшерү ысулы
Өч координаталы үлчәү машинасы өч үлчәмле киңлектә югары төгәл үлчәмгә ирешә ала. Гранит платформасын үлчәү машинасының эш өстәленә урнаштырыгыз һәм платформаның өслегендә берничә үлчәү нокталарыннан бердәм мәгълүмат туплау өчен зондны кулланыгыз. Measлчәү машинасы системасы платформаның яссылыгы турында доклад ясау өчен бу мәгълүматларны эшкәртә һәм анализлый. Бу ысул яссылыкны гына түгел, платформаның башка геометрик параметрларын да ала ала, һәм зур гранит платформаларны комплекслы ачыклау өчен яраклы. ?
Бу ачыклау ысулларын үзләштерү сезгә гранит төгәл платформаның яссылыгын төгәл бәяләргә һәм төгәл җиһазларның тотрыклы эшләве өчен ышанычлы гарантия бирергә ярдәм итә ала.
Пост вакыты: 29-2025 май