Ярымүткәргечләр җитештерүдә төгәллек революциясе: гранит микрон технологиясе белән очрашканда
1.1 Материаллар фәнендә көтелмәгән ачышлар
2023 елгы SEMI Халыкара Ярымүткәргечләр Ассоциациясе отчетына караганда, дөньядагы алдынгы фабрикаларның 63% ы традицион металл платформалар урынына гранит нигезләрен куллана башлаган. Җирнең тирәнлегендәге магма конденсациясеннән барлыкка килгән бу табигый таш, үзенең уникаль физик үзенчәлекләре аркасында ярымүткәргечләр җитештерү тарихын яңадан яза:
Термик инерция өстенлеге: гранитның 4.5×10⁻⁶/℃ термик киңәю коэффициенты дат басмас корычның 1/5 өлешен генә тәшкил итә, һәм литография машинасының өзлексез эшләвендә ±0.001 мм үлчәм тотрыклылыгы саклана.
Вибрацияне сүндерү үзенчәлекләре: эчке ышкылу коэффициенты чуенга караганда 15 тапкыр югарырак, җиһазларның микровибрациясен нәтиҗәле сеңдерә
Нуль магнитлашу табигате: лазер үлчәүләрендә магнит хатасын тулысынча бетерә
1.2 Минекеннән фабрикага кадәр метаморфоз сәяхәте
Шаньдундагы ZHHIMG компаниясенең акыллы җитештерү базасын мисал итеп алсак, чимал гранит кисәге түбәндәгеләрне үтәргә тиеш:
Бик төгәл эшкәртү: биш күчәрле тоташтыру эшкәртү үзәге 200 сәгать өзлексез фрезерлау, өслекнең тигезсезлеге Ra0.008μm кадәр
Ясалма картаю эшкәртү: даими температура һәм дымлылык остаханәсендә 48 сәгатьлек табигый стрессны бетерү, бу продуктның тотрыклылыгын 40% ка яхшырта.
Икенчедән, ярымүткәргеч җитештерүнең "таш чишелеше"нең алты төгәллек мәсьәләсен хәл итү
2.1 Пластинаның фрагментация тизлеген киметү схемасы
Очракны күрсәтү: Германиядәге чип кою заводы безнең газ белән йөзүче гранит платформасын куллана башлаганнан соң:
| Вафли диаметры | чип тизлеген киметү | яссылыкны яхшырту |
| 12 дюйм | 67% | ≤0,001 мм |
| 18 дюйм | 82% | ≤0.0005 мм |
2.2 Литографик тигезләү төгәллегенең алгарыш схемасы
Температураны компенсацияләү системасы: керамик сенсор форма үзгәрүчәнлеген реаль вакыт режимында күзәтә һәм платформа авышлыгын автоматик рәвештә көйли
Үлчәнгән мәгълүматлар: 28℃±5℃ тирбәнешендә, урнаштыру төгәллеге 0,12μm дан кимрәк тирбәнә.
Бастырып чыгару вакыты: 2025 елның 24 марты