Ярымүткәргеч җитештерүдә төгәл революция: гранит микрон технологиягә туры килгәндә
1.1 Материал фәнендә көтелмәгән ачышлар
2023 SEMI Халыкара ярымүткәргеч ассоциациясе отчеты буенча, дөньяның алдынгы фабларының 63% традицион металл платформалар урынына гранит нигезләрен куллана башлады. Naturalирнең тирән магма конденсациясеннән барлыкка килгән бу табигый таш, ярымүткәргеч җитештерү тарихын уникаль физик үзенчәлекләре аркасында яңадан яза:
Rылылык инерция өстенлеге: гранитның 4,5 × 10⁻⁶ / of җылылык киңәйтү коэффициенты дат басмаган корычның 1/5 өлешен тәшкил итә, һәм литография машинасының өзлексез эшендә ± 0,001 мм үлчәм тотрыклылыгы саклана.
Тибрәнү сүндерү үзенчәлекләре: эчке сүрелү коэффициенты чуенныкыннан 15 тапкырга югарырак, җиһазларның микро-тибрәнүен эффектив үзләштерә.
Нуль магнитизация табигате: лазер үлчәвендәге магнит хатасын тулысынча бетерегез
1.2 Метаморфоз минадан фабга сәяхәт
Мисал итеп, Шаньдундагы ZHHIMG интеллектуаль җитештерү базасын алсак, чимал гранит кисәген кичерергә кирәк:
Ультра төгәл эшкәртү: биш күчәрле тоташтыру эшкәртү үзәге 200 сәгать өзлексез тегермән өчен, Ra0.008μm га кадәр өслекнең тупаслыгы.
Ясалма картлыкны дәвалау: продуктның тотрыклылыгын 40% яхшырта торган даими температурада һәм дымлы цехта 48 сәгать табигый стресс чыгару.
Икенчедән, "таш эремәсе" ярымүткәргеч җитештерүнең алты төгәл проблемасын чишегез.
2.1 Вафер фрагментлашу ставкасын киметү схемасы
Эш күрсәтү: Германиядә чип фабрикасы безнең газ йөзүче гранит платформасын кабул иткәннән соң:
| Вафин диаметры | чип ставкасын киметү | яссылыкны яхшырту |
| 12 дюйм | 67% | ≤0.001 мм |
| 18 дюйм | 82% | ≤0.0005 мм |
2.2 Литографик тигезләү төгәллеге алга китеш схемасы
Температураны компенсацияләү системасы: кертелгән керамик сенсор форма үзгәрүен реаль вакытта күзәтә һәм платформаның омтылышын автоматик рәвештә көйли.
Dataлчелгән мәгълүматлар: 28 ℃ ± 5 uct үзгәрүләре астында, урнаштыру төгәллеге 0,12μмнан азрак үзгәрә
Пост вакыты: 24-2025 март