Ярымүткәргечләр сәнәгате 2 нм дан түбәнрәк процесс төеннәрен агрессив рәвештә эзләгәнлектән, механик хаталар өчен чик юкка чыкты диярлек. Бу югары куркыныч мохиттә процесс камерасының тотрыклылыгы инде икенчел мәсьәлә түгел; ул чыгымнар өчен төп киртә. ZHHIMG компаниясендә без глобаль OEM җитештерүчеләренең ярымүткәргеч капитал җиһазларының структура бөтенлегенә карашында төп үзгәреш күзәтәбез.
Тынлык физикасы: алдынгы тибрәнүне сүндерү ысуллары
Хәзерге вакытта пластиналар җитештерүдә, элек "фон шау-шуы" дип саналган тибрәнүләр хәзер катастрофик хәлгә китерә. Бу объектның HVAC системасыннан микротирбәнешләрме яки югары тизлекле сканерлау этабының эчке инерциясеме, контрольдә тотылмаган энергия турыдан-туры катлау хаталарына һәм тонык үрнәкләргә китерә.
Ярымүткәргечләр җитештерүдә хәзерге вакытта кулланыла торган тибрәнүне туктату ысуллары күп катламлы архитектурага әверелде. Пассив туктату - минераль кою яки төгәл гранит кебек югары массалы материалларны куллану - нигез булып калса да, актив туктату интеграциясенең артуын күзәтәбез.
Актив системалар пьезоэлектрик актуаторларны һәм реаль вакыт сенсорларын кулланып, каршы ешлыклар тудырып, тибрәнүләрне "юкка чыгару" өчен кулланалар. Ләкин, актив системаларның нәтиҗәлелеге нигез материалының сүндерү коэффициенты белән чикләнгән. Нәкъ менә монда ZHHIMG компаниясенең югары сүндерүчән конструкция материаллары өлкәсендәге тәҗрибәсе бик мөһим була. Актив электрониканы табигый инерт гранит яки композит нигез белән берләштереп, без нано-позицияләү комачауламыйча башкарыла алырлык "Тыныч зона" тәэмин итәбез.
Ышкылусыз хәрәкәтнең күтәрелеше: һава подшипнигы технологиясе
Югарырак үткәрүчәнлеккә ихтыяҗ традицион механик подшипникларны чикләренә җиткерде. Ышкылу җылылыкка китерә, ә җылылык җылылык киңәюенә китерә - төгәллекнең дошманы. Бу киң кулланылышка китерде.төгәл этаплар өчен һава йөртү технологиясе.
Һава подшипниклары басымлы һаваның нечкә пленкасына йөкләнешне күтәрә, гадәттә берничә микрон калынлыкта гына. Физик контакт булмаганлыктан, статик ышкылу (ябышу) юк. Бу түбәндәгеләргә мөмкинлек бирә:
-
Гистерезиссыз хәрәкәт: этапның һәрвакыт бер үк нанометр координатасына кайтуын тәэмин итү.
-
Тизлек тотрыклылыгы: Электрон нур тикшерүе кебек сканерлау кушымталары өчен бик мөһим, анда механик подшипникның хәтта кечкенә генә "тешле тибеше" дә сурәтне бозып күрсәтәчәк.
-
Бик озак хезмәт итү: Тигән өлешләр булмаганлыктан, тузу һәм кисәкчәләр барлыкка килү юк, бу аларны 1 нче класслы чиста бүлмә мохите өчен идеаль итә.
ZHHIMG компаниясендә без бу һава подшипниклары өчен юнәлеш бирүче юл булып хезмәт итүче ультра яссы гранит өслекләр җитештерәбез. Дөрес эшләсен өчен, бу өслекләр яктылык дулкын озынлыгының өлешләрендә үлчәнгән яссылыкка кадәр ябыштырылырга тиеш.
Ярымүткәргечле капитал җиһазларындагы тенденцияләр: 2026 һәм аннан соң
2026 елга күчкәндә,ярымүткәргеч капитал җиһазлары өлкәсендәге тенденцияләр"Өч багана" белән характерлана: Модульләштерү, тотрыклылык һәм җылылык контроле.
-
Модульле платформа дизайны: OEM җитештерүчеләр "тоташтыр һәм эшлә" торган база модульләрен эзлиләр. Һәр корал өчен яңа база проектлау урынына, алар литография, метрология яки гравюра өчен җайлаштырылырга мөмкин булган стандартлаштырылган ZHHIMG төгәл нигезләрен кулланалар.
-
Җылылык белән идарә итү: EUV (Extreme Ultrafiolet) яктылык чыганаклары гаять зур җылылык җитештергәнлектән, машина нигезе зур җылылык йоткычы булып эшләргә тиеш. Без катлаулы суыту каналларын $<0.01^\circ\text{C}$ дельтасын саклап калу өчен турыдан-туры минераль һәм гранит компонентларыбызга интеграциялибез.
-
Вакуум белән туры килүчәнлек: Югары вакуумлы мохиткә күбрәк процесслар күчкәнлектән, кулланылган материалларда газ чыгу булмаска тиеш. Безнең махсуслаштырылган гранит һәм керамик эшкәртү вакуумның бөтенлегенең конструктив нигез аркасында беркайчан да бозылмавын тәэмин итә.
ZHHIMG белән стратегик партнерлык
ZHHIMG - компонентлар җитештерүче генә түгел; без хәрәкәтне контрольдә тоту белән тәэмин итү чылбырында стратегик партнер. Кытайдагы безнең объект тармактагы иң катлаулы тотрыклылык проблемаларын хәл итү өчен Кремний үзәнлеге һәм Эйндховендагы инженерлык төркемнәре белән тыгыз координациядә эшли.
Үзебезнең махсус әйләндерү ысулларын һәм тирән аңлавыбызны кулланыптибрәнүне туктату ысуллары, без клиентларыбызга Мур законы чикләрен киңәйтергә мөмкинлек бирәбез. Сез киләсе буын ALD (Атом катламын урнаштыру) коралын яки югары тизлекле пластина зондын эшләсәгез дә, нигез ZHHIMG белән башлана.
Йомгак
Ярымүткәргечләр җитештерүнең эволюциясе физика законнарына каршы көрәш. Сәнәгать 2026 елга таба барган саен, һава подшипникларының төгәллегенә һәм алдынгы амортизациягә игътибар көчәя барачак. Бу тенденцияләрдән алда бару өчен, туры мәгънәдә дә, күчерелмә мәгънәдә дә, тәҗрибә һәм инновацияләргә нигезләнгән нигез кирәк.
Бастырып чыгару вакыты: 2026 елның 26 гыйнвары