Ярымүткәргечләр җитештерү өлкәсендә, чип җитештерү процессының төгәллеген билгеләүче төп җиһаз буларак, фотолитография машинасының эчке мохитенең тотрыклылыгы бик мөһим. Экстремаль ультрафиолет яктылык чыганагын кузгатудан алып нанокүләмле төгәл хәрәкәт платформасының эшләвенә кадәр, һәр звенода кечкенә генә тайпылыш булырга тиеш түгел. Берничә уникаль үзенчәлеккә ия булган гранит нигезләре фотолитография машиналарының тотрыклы эшләвен тәэмин итүдә һәм фотолитография төгәллеген арттыруда тиңдәшсез өстенлекләр күрсәтә.
Күренекле электромагнит экранлаштыру күрсәткечләре
Фотолитография машинасының эче катлаулы электромагнит мохит белән тулы. Әгәр дә экстремаль ультрафиолет яктылык чыганаклары, привод двигательләре һәм югары ешлыклы электр белән тәэмин итү чыганаклары кебек компонентлар тарафыннан барлыкка китерелгән электромагнит комачаулау (ЭКК), әгәр дә нәтиҗәле контрольдә тотылмаса, җиһазлар эчендәге төгәл электрон компонентларның һәм оптик системаларның эшчәнлегенә җитди йогынты ясаячак. Мәсәлән, комачаулау фотолитография үрнәкләрендә кечкенә тайпылышлар китерергә мөмкин. Алга киткән җитештерү процессларында бу чиптагы транзисторларның дөрес булмаган тоташуларына китерә, чипның җитештерүчәнлеген сизелерлек киметә.
Гранит - металл булмаган материал һәм үзе электр тогын үткәрми. Металл материаллардагы кебек, эчендәге ирекле электроннар хәрәкәте аркасында электромагнит индукция күренеше юк. Бу үзенчәлек аны табигый электромагнит экранлаучы җисем итә, ул эчке электромагнит комачаулауларның тапшыру юлын нәтиҗәле рәвештә блоклый ала. Тышкы электромагнит комачаулау чыганагы тарафыннан барлыкка китерелгән алмаш магнит кыры гранит нигезенә таралгач, гранит магнит түгел һәм магнитлаштырылмый, алмаш магнит кырына үтеп керү авыр, шуның белән нигезгә урнаштырылган фотолитография машинасының төп компонентларын, мәсәлән, төгәл датчикларны һәм оптик линзаларны көйләү җайланмаларын, электромагнит комачаулау йогынтысыннан саклый һәм фотолитография процессында үрнәк күчерүнең төгәллеген тәэмин итә.
Вакуум белән бик яхшы туры килүчәнлек
Чөнки экстремаль ультрафиолет яктылык (EUV) һаваны да кертеп, барлык матдәләр тарафыннан җиңел сеңдерелә, EUV литография машиналары вакуум мохитендә эшләргә тиеш. Бу вакытта җиһаз компонентларының вакуум мохите белән туры килүе аеруча мөһим. Вакуумда материаллар эреп, десорбцияләнеп һәм газ чыгарырга мөмкин. Бүленеп чыккан газ EUV яктылыкны сеңдереп кенә калмый, яктылыкның интенсивлыгын һәм үткәрү нәтиҗәлелеген киметә, ә оптик линзаларны да пычратырга мөмкин. Мәсәлән, су пары линзаларны оксидлаштырырга мөмкин, ә углеводородлар линзаларда углерод катламнарын урнаштыра ала, бу литография сыйфатына җитди йогынты ясый.
Гранит тотрыклы химик үзлекләргә ия һәм вакуум мохитендә газ чыгармый диярлек. Профессиональ сынаулар буенча, фотолитография машинасының вакуум мохитен симуляцияләүдә (мәсәлән, төп камерадагы яктырту оптик системасы һәм сурәтләү оптик системасы урнашкан ультра-чиста вакуум мохитендә, H₂O < 10⁻⁵ Па, CₓHᵧ < 10⁻⁷ Па таләп итә), гранит нигезенең газ чыгару тизлеге бик түбән, металл кебек башка материалларга караганда күпкә түбәнрәк. Бу фотолитография машинасының эчке өлешенә югары вакуум дәрәҗәсен һәм чисталыкны озак вакыт сакларга мөмкинлек бирә, тапшыру вакытында EUV яктылыкның югары үткәрүчәнлеген һәм оптик линзалар өчен ультра-чиста куллану мохитен тәэмин итә, оптик системаның хезмәт итү вакытын озайта һәм фотолитография машинасының гомуми эшчәнлеген яхшырта.
Көчле тибрәнүгә каршы торучанлык һәм термик тотрыклылык
Фотолитография процессы вакытында, нанометр дәрәҗәсендәге төгәллек фотолитография машинасында иң кечкенә тибрәнү яки җылылык деформациясе булмаска тиеш дигәнне аңлата. Остаханәдә башка җиһазлар эшләве һәм персонал хәрәкәте нәтиҗәсендә барлыкка килгән әйләнә-тирә мохит тибрәнүләре, шулай ук фотолитография машинасы үзе эшләгәндә чыгарган җылылык фотолитография төгәллегенә комачаулый ала. Гранит югары тыгызлыкка һәм каты текстурага ия, һәм ул бик яхшы тибрәнү каршылыгына ия. Аның эчке минераль кристалл структурасы компакт, ул тибрәнү энергиясен нәтиҗәле рәвештә киметә һәм тибрәнү таралуын тиз баса ала. Эксперименталь мәгълүматлар күрсәткәнчә, бер үк тибрәнү чыганагы астында гранит нигез тибрәнү амплитудасын 0,5 секунд эчендә 90% тан артыкка киметә ала. Металл нигез белән чагыштырганда, ул җиһазларны тизрәк тотрыклылыкка кайтара ала, фотолитография линзасы һәм пластина арасындагы төгәл чагыштырма позицияне тәэмин итә һәм тибрәнү аркасында килеп чыккан рәсем тоныклануын яки тигезләнмәвен булдырмый.
Шул ук вакытта гранитның җылылык киңәю коэффициенты бик түбән, якынча (4-8) × 10⁻⁶/℃, бу металл материалларныкыннан күпкә түбәнрәк. Фотолитография машинасы эшләгәндә, эчке температура яктылык чыганагыннан җылылык чыгу һәм механик компонентлардан ышкылу кебек факторлар аркасында үзгәрсә дә, гранит нигезе үлчәм тотрыклылыгын саклый ала һәм җылылык киңәюе һәм кысылуы аркасында зур деформациягә дучар булмаячак. Ул оптик система һәм төгәл хәрәкәт платформасы өчен тотрыклы һәм ышанычлы терәк бирә, фотолитография төгәллегенең тотрыклылыгын саклый.
Бастырып чыгару вакыты: 2025 елның 20 мае