Төгәл җитештерү һәм фәнни тикшеренүләр өлкәләрендә гранит төгәл платформаларының яссылыгы җиһазларның төгәллеген тәэмин итүче төп күрсәткеч булып тора. Түбәндә сезнең өчен берничә төп ачыклау ысулы һәм аларның эшләү процедуралары турында җентекле таныштыру бирелә.
I. Лазер интерферометрын ачыклау ысулы
Лазер интерферометры югары төгәллекле яссылыкны ачыклау өчен өстенлекле корал булып тора. Мисал итеп ZYGO GPI XP лазер интерферометрын алыйк, аның чишелеше 0,1 нм га җитә ала. Детекция үткәргәндә, башта интерферометрның яктылык чыганагын платформа белән туры китерегез һәм платформа өслеген 50 мм × 50 мм челтәр өлкәләренә бүлегез. Аннары интерференция полосасы мәгълүматлары нокта буенча җыелды, һәм мәгълүматлар тигезлек хатасын алу өчен Zernike полиномы ярдәмендә урнаштырылды һәм анализланды. Бу ысул югары төгәллекле платформаларга кулланыла һәм ≤0,5 мкм/м² яссылык хаталарын ачыклый ала. Ул гадәттә фотолитография машиналарын һәм югары дәрәҗәдәге өч координаталы үлчәү машиналары платформаларын ачыклауда кулланыла.
II. Электрон дәрәҗә массивы ысулы
Электрон дәрәҗә массивын ачыклау җиңел һәм бик нәтиҗәле. TESA A2 электрон дәрәҗәсе (0,01 мкм/м чишелеш белән) сайланган һәм платформаның X/Y күчәре юнәлеше буенча 9×9 массивта урнаштырылган. Һәр дәрәҗәнең авышлык мәгълүматларын синхрон рәвештә җыеп, аннары исәпләү өчен иң кечкенә квадратлар ысулын кулланып, яссылык кыйммәтен төгәл алырга мөмкин. Бу ысул платформаның җирле чокырлык һәм кабарынкылык шартларын нәтиҗәле рәвештә билгели ала. Мәсәлән, 50 мм диапазонда 0,2 мкм тирбәнешне дә ачыкларга мөмкин, бу массакүләм җитештерүдә тиз ачыклау өчен яраклы.
III. Оптик яссы кристалл ысулы
Оптик яссы кристалл ысулы кечкенә мәйданлы платформаларны ачыклау өчен яраклы. Оптик яссы кристаллны платформада тикшереләчәк өслеккә нык беркетегез һәм монохроматик яктылык чыганагы (мәсәлән, натрий лампасы) яктыртуында алар арасында барлыкка килгән интерференция полосаларын күзәтегез. Әгәр полосалар параллель туры полосалар булса, бу яхшы яссылыкны күрсәтә. Әгәр кәкре полосалар күренсә, полоса кәкрелеге дәрәҗәсенә нигезләнеп яссылык хатасын исәпләгез. Һәр кәкре полоса 0,316 мкм биеклек аермасын күрсәтә, һәм яссылык мәгълүматларын гади үзгәртү аша алырга мөмкин.
Дүртенче. Өч координаталы үлчәү машинасын тикшерү ысулы
Өч координаталы үлчәү машинасы өч үлчәмле киңлектә югары төгәллекле үлчәүләргә ирешә ала. Гранит платформасын үлчәү машинасының эш өстәленә куегыз һәм платформа өслегендәге берничә үлчәү ноктасыннан мәгълүматларны бердәм җыю өчен зонд кулланыгыз. Үлчәү машинасы системасы бу мәгълүматларны эшкәртә һәм анализлый, платформаның яссылыгы турында отчет бирә. Бу ысул яссылыкны гына ачыклап калмыйча, платформаның башка геометрик параметрларын бер үк вакытта ала ала һәм зур гранит платформаларын комплекслы ачыклау өчен яраклы.
Бу ачыклау ысулларын үзләштерү гранит төгәл платформасының яссылыгын төгәл бәяләргә ярдәм итә һәм төгәл җиһазларның тотрыклы эшләве өчен ышанычлы гарантия бирә ала.
Бастырылган вакыты: 2025 елның 29 мае